单向微阀门的计算机模拟.pdf

单向徽阁门的计算机旗拟 刘晓为，王蕊，王喜莲，张明军，陶庆峰 哈尔滨工业大学MEMS中心，哈尔滨 150001 摘妥:文章对单向徽阅门的工作特性进行了模拟分析，讨论了单向微阁门结构参数 (阅片的厚 度，长度，阅座口宽度)对其工作特性的影响，以及间片所能承受的最大压差.模拟结果对单向橄 阁门的结构以及流全控制系统的设计、优化有若重要恋义。 关位润:单向很间fl，计算机模491.徽流体分析. 1.引言 徽电子机械系统 (MEMS)是一个新兴的技术领域，近年来获得迅猛发展，这一技术在流体控 制方面的应用主要是MEMS微流量控制、测JU#件，如:微泵、徽阀、微喷射器等。微型化的流 量控制、侧t器件在航天、医疗、工农业等领域用途广泛.如:可以用于小卫星的微推进系统。医 疗上能用于植入人体的抽液系统[1121;半导体和化学工业中用于徽f元素的配给等。 单向徽阁门是一种微流t控制器件，也可以看作是有阀微泵的一个润门，采用计算机模拟，对 于了解其工作机理，进行结构的优化设计，提供了可靠依据，1996年).ulrich和R.Zengerl。发表了 对微阅进行计算机模拟的文章，他们的工作侧重于压差对流t的影响，以及阀门动态工作特性方面 的研究PI，目前单向微阀门结构对其工作特性影响的研究，还不深入。本文采用有限元分析方法， 使用MEMS器件分析常用的ANSYS软件，对单向微阀门进行了静态计算机模拟。模拟结果对单 向徽阀17的结构以及流量控制系统的设计、优化有着重要意义，可以作为单向微阀门结构设计依据. 2.单向徽门门的制作与工作原理 单向阀门结构简单，如图1所示，由入口、阀座、阀片、出口四部分构成。 ①入口 ②阀座 ③阀片 ④出口 图1单向微阀门结构截面示惫图 单向微阀门的制作是采用硅体微机械加工工艺技术:以硅各向异性腐蚀技术在硅片上腐蚀出阀 门体的各个部分，然后进行多次硅一硅键合构成阀门整体。 单向微阀门的导通与关闭，是由阀门入口和出口的压差来决定的。两种工作状态如图2所示: 图2单向微阀门导通和关闭状态示意图 导通状态:当入口处的压强P1大于出口处的压强P2.即AP--PI-P20，水流冲击阀片，阅片被 泣 103 尔 卜 翻 打开，水流流过阀门，此时单向阀处于导通状态。如图2(a)所示。 关闭状态:当dP=P1-P2-0时，在阀片机械应力和流体的向下挤压力作用下，阀片反扣在阀座 上，从而阻止了流体通过阀门，此时单向微阀处于关闭状态。如图2(b)所示.。 因此，我们可以通过控制单向微阀门出入口压差来实现对流体的微流量控制。 3.棋型建立 对单向徽阅门建立二维模型。阀片左端固定.右端是自由端。模拟分析分两部分: 第一部分是阀门受入口和出口液体压差作用呈导通或者关闭状态，以阀片为研究对象，假设阀 片是在均匀外力 (压差引起的)作用下发生变形，开启或者闭合。阀片开启时形成的流体通过沟道， 以及闭合时闷片发生的变形，都是均匀外力 (液体压差)和阀门结构的函数，模拟采用ANSYS软 件的结构动力学分析系统。只进行静态分析。阀片受力将发生大变形，因此，单元类型选择八节点 四边形。 第二部分是单向徽阀门导通时，模拟流体在阀门中的流动情况，以整个阀门为研究对象.假设 流体以恒定流速通过阀门，即忽略入口处的压力损失，模拟采用ANSYS流体动力学系统，流体通 过区域的单元类型选择四节点四边形。导通状态时阀门的结构参数，采用第一部分的模拟结果，由 于模拟时渡体在出口处将出现明显的压力梯度，这可能引起质且不守恒，为防止此现象，微阀出口 应拟一段长度，既模型的出口比实际出口长。 4.棋拟站果分析 4.1工作钧性搜组 对单向徽闷门工作特性的模