微传感器原理和应用PPT.ppt

微传感器原理和应用 参考书 《硅微机械传感器》 Machanical Microsensors 《微传感器与执行器全书》 Micromachined Transducers sourcebook M.Elwenspoek R.Wiegerink 著， 陶家渠 等 译 [美] 格雷戈里 T.A. 科瓦奇 著， 张文栋 等 译 传 感 器 基 础 1 传感器的基本概念 被测信息 敏感元件 转换元件 辅助电路 信号调理电路 输出信息 敏感元件和转换元件 1.1 传感器的定义及构成 传感器(Transducer/Sensor) 的定义：能感受规定的被测量, 并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。 构成： 敏感元件(Sensing element)：能直接感受被测量的部分； 转换元件(Transition element)：能将敏感元件输出量转换为便 于传输和测量的电信号部分。 通常是电信号 1.2 传感器的分类 压力传感器 荷重传感器 位移传感器 温度传感器 ⑵ 数字式传感器 —— 输出数字信号 1.2.1 按被测量分类： 生物量传感器 它们是针对具体测量对象的传感器的集合体 物理量传感器 化学量传感器 1.2.2 按输出信号分类： ⑴ 模拟式传感器 —— 输出模拟信号（属传统类型） 随着信息处理的数字化，数字式传感器所输出的信号由于可以省略 A/D 转换环节，便于网络传输，优势是明显的。特别是近年来发展起来的总线式数字传感器，则更加引人注目。 数据采集装置 传感器1 传感器2 传感器n 总线式数字传感器应用示意图 3.1 测量和误差的基本概念和定义 3 传感器的一般特性 真值： 被测量客观存在的真实数值（理想概念）。 测量值： 测量器具直接反映的或由此经必要计算得到的值。 测量范围： 允许误差范围内，测量装置测量被测量的范围。 量程： 测量范围的上限与下限的代数差。 绝对误差： 实际特性（测量的值）与理论特性（真值）的偏差。 相对误差： 绝对误差与真值之比，一般用百分数表示。 系统误差： 数值确定或按一定规律变化的误差，原则上可消除 随机误差： 由随机变化因素引起的误差。 精密度： 多次重复测量的值的分散程度，反映随机误差的大小 准确度： 测量结果与真值的偏离程度，反映系统误差的大小。 精确度： 精密度与精确度的综合反映-------精度 3.2.2 静态特性的性能指标 分辨率： 输入从任意非零值缓慢增加，只有在超过某一输入增量后输出才有变化，该输入增量即为分辨率， 有时也称为分辨力。 （1） 迟滞(Hysteresis) ： 输入量由小到大变化（正行程）和输入量由大到小变化（反行程）变化期间两个静态特性曲线不重合的程度。 (Resolution) 在全量程范围内最大的迟滞差值ΔHmax与满量程输出值YFS之比称为迟滞误差，用?H表示，即 : o （2） 重复性(Repeatability )： 输入量按同一方向作全量程变化,多次测得的特性曲线不一致的程度。重复性误差属于随机误差，用子样标准差S计算（推荐），也可用正反行程中最大重复差值ΔRmax计算。 或: 设x=xj 时，做了n次同条件的重复测量，获得n个输出值： 则： 其中： 若x= x1 ··· xm时，方差相同 ： 用?R 表示: （3） 非线性度(non-linearity)： 输出与输入之间数量关系的线性程度。 在量程范围内校准曲线与规定直线（或称拟合直线）之间的最大偏差值ΔLmax与满量程输出值YFS之比，用?L表示： （也称为线性度或非线性误差） y Y FS x 规定直线 校准曲线 o o 拟合直线 （4） 非线性及迟滞(non- linearity and hysteresis)： 正、反行程校准曲线与拟合直线之间的最大偏差值ΔLHmax与YFS之比： 选取的拟合直线不同，计算出的非线性度也不同。 理论直线： 零点与满量程输出点的连线，与校准数据无关。 最小二乘直线： 用最小二乘法根据校准数据求出的拟合直线。 端点连线平移线： 平均校准曲线对应测量上、下限的两个 端点的连线，平移到最大正误差与最大负误差绝对值相等。 （a）最小二乘拟合直线的确定 设待求拟合直线为： 在第j个校准点的正反行程平均值为：yj（j=1,2, ··· m), yj与 拟合直线的差值： 拟合直线确定原则： 使 最小 （5） 拟合直线的确定 令一阶偏导数为零