聚焦离子束设备的真空系统研究.pdfVIP

2005年12月 第十三届全国电子束·离子束·光子束学术年会 湖南·长沙 聚焦离子束设备的真空系统 宋秀云张彬庭 (中国电子科技集团公司第四十八研究所，长沙410111) 摘要：简要介绍了聚焦离子束技术的应用范围和作用，综述了真空系统在聚焦离子束设备中的重 要作用，聚焦离子束设备真空系统的主要组成以及设备达到的真空度。 关键词：聚焦离子束；真空；真空度；真空泵。 1引言 聚焦离子束技术是一种灵活而有效的微细加工技术．它既具有离子束技术的特点，又有微细加工 的灵活性，可用于注人、刻蚀作图加工、淀积等，在半导体器件和微机械器件制造工艺中具有非常广泛 的应用前景。 随着硅片尺寸和半导体芯片复杂程度的增加，生产工艺也越来越复杂，设计错误和工艺缺陷也随 着增加，为了缩短生产周期，减少生产成本，提高生产效率和成品率，就需要用聚焦离子束来改正和修 理这些设计错误和工艺缺陷，聚焦离子束技术已成为半导体工业的有力工具。被广泛应用于集成电路 芯片和器件的修改、故障分析、扫描离子显微镜、掩模修理和无掩模光刻等。 所以聚焦离子束设备不仅是一种高精密的微机械加工设备，也是重要的半导体芯片的辅助加工工具。 聚焦离子束是一种低能离子束，不能穿越空气。它必须在接近真空的环境中产生和使用。真空系 统就是给聚焦离子束提供一个这样的高真空环境。真空系统的性能直接影响离子源寿命，发射电流的 稳定性以及聚焦离子束的工作效果，它是聚焦离子束设备不可缺少的组成部分。 2系统作用 在聚焦离子束设备中，真空系统性能的好坏直接影响该设备离子源寿命的长短、束流品质和聚焦 离子束工作效果的优劣。该设备真空系统的主要作用如下： ①提供产生束流环境。虽然聚焦离子束是用高压产生的，但它实际上是低能量的微细束流，束流 大小通常为几十皮安到几千皮安，束斑尺寸范围从几十纳米到几百纳米，为亚微米级或纳米级，它很 容易受到大气分子的干扰。不能穿越空气．需要真空系统给它提供一个超高真空环境。 ②提供束流工作环境。设备工作时，工件和聚焦离子束都需要一个非常“洁净”的环境，否则会污 染工件和影响束流工作。如果离子束通道和工作室受到污染，而污染物一般是绝缘的，这样就会产生 静电积累，使束流轨迹发生偏移，直接影响聚焦离子束的刻蚀作图等工作效果；如果静电积累严重到 发生放电现象，聚焦离子束设备就根本无法工作。 ③真空度的高低直接影响离子源寿命的长短和发射电流稳定性的好坏。试验表明，真空系统真空 度较高时，正常工作条件下，离子源能使用半年，但是如果真空度较低，不到一个月．就能用完一个新 离子源，大大地缩短了离子源的寿命，而且发射电流也不稳定。 3主要组成 一216一 2005年12月 第十三届套国电子束·离子束·光子束学术平套 湖南·长沙 聚焦离子束设备的真空系统主要包括真空获得．真空测量和真空控制。 3．1真空获得 真空就是指在给定的空间内，气体分子密度低于该地区一个标准大气压时气体分子密度的气体 状态。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子密度“】。真空系统的目的就是把特定空间内不 需要的气体抽除，使这个空间成为真空。获得真空的主要设备是真空泵，它利用机械、物理、化学或物 理化学方法对密闭容器进行抽气，使密闭容器的气体分子密度变小，从而获得高真空。在聚焦离子束 设备中，由真空泵、阀、开关等共同构成的真空系统组件对镜筒和工作室进行抽气，使镜筒和工作室内 的气体分子减少，从而使镜简和工作室获得超高真空。见真空系统框图(图1)。真空泵包括粗抽机械 泵。涡轮分子泵组合装置和离子泵。机械泵是低真空泵，用来对系统从大气压抽至104托；分子泵和离 子泵是高真空泵，用来将气压抽到更低，通常在10。托与l旷托之间。涡轮分子泵组合装置由涡轮分 子泵和前级泵以及一个用来管理涡轮泵和它的前级泵的相互关系的控制箱组成。整个真空系统包括 一台离子泵。一台分子泵和两台机械泵。离子泵用来抽镜筒，分子泵用来抽工作室及装载室到高真空． ～台机械泵做分子泵的前级机械泵，另一台机械泵用来粗抽装载室。同时使真空泵与被抽室的管道尽 可能短，提高抽气效率。 阀门采用