聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计研究.pdfVIP

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2018-01-11 发布于广东
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聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计研究.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL 0ct．2006 foraPI-Cantilever ActuationMOEMSSwitch OptimizedDesign Electromagnetic Optical 1．State Institute Mechanicsand r KeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunofOptics，Fine Physics，1 吼inese 130031，@i”n AcademyofSciences，Changchun 2．GraduateSchoolChinese of Academy 100039，China ofScience，Beijing Akindof actuationswitchis basedonthe of Abstrach electromagnetic designed high optical mechanicalcharacter，insulationandheat—resistant．Wethe polyimide(PI)in analyzedwinding tionandchosethe formandalsostudiedthe betweenthe and regularoctagon relationship drivingvoltage distanceaboutthe aimedat thestructureofthePI—cantileverin PI—cantilever，which working optimizing and a of movable a of2mm． thickness．At 2V，the length，width drivingvoltage partgotdisplacement Keywords：opticalswitch；eleetromagneticactuation；cantilever；polyimide EEACC：4160 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计孔庆峰1’2，梁静秋1’孙，钟砚超1’2，侯凤杰1’2，李佳1’2，孙德贵1 ／＼．中国科学院研究生院，北京(12篙装墓妻妻塞喜慧帽1000科学39院长春光学精密机械与物理研究所’士林长春13003b) 摘要：利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能，设计出基于PI膜的磁控光开关．给出合理的线圈宽度与间隙宽度，提出了八边形的线圈绕组结构，计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系，并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化．在驱动电压为2V时，自由端位移达到2mrrl．关键词：光开关；电磁