飞秒激光双光子聚合特征尺度的研讨.pdfVIP

飞秒激光双光子聚合特征尺度的研究 李焱，亓凰杰，谭登峰，刘走勇，扬宏，龚旗煌 北京太学人工微结构和介观物理国家重点实验室 北京大学物理学院，100871 更小的特征尺度一直是飞秒激光双光子聚合追求的目标．人们进行了大量研究。 对经常使用的SER500树脂，人们获得了120rim的特征尺度1，通过掺入淬灭剂2， 又将特征尺度降到65rim。如果不掺入淬灭剂，用SCR500实现双光子聚台．其最小 特征尺度可以降到多少?本文通过提高扫描速度和采用二次聚合．将特征尺度降到 25rim以下。 组成聚合结构的单个体积元的尺寸，可以直观反映取光子聚合的特征尺度。但是， 当体积元太小时．它们很难在后处理的过程中保留下来，也很难铡试和表征。所以， 现在一般采用制备悬空聚合线条的方法来研究特征尺度。飞秒激光扫描线条的过程 中．在其它制各参数不变的条件下．扫描速度越快，单位距离上叠加的体积元越少， 扫描得到的线条就越细。支撑线条的两个较 大聚合结构靠得越近，允许的最快极限速度 越高，得到的线条的特征尺度越小。我们用 76MHz，120fs的激光脉冲，得到了特征尺度 小于25rim的细线(图1)，这个分辨率远远 超过了以前报道的结果。这是由于在两个相 互靠近的平行聚合结构之间，没有完全聚合 的聚合物通过再次聚合．从而可以使用更小 圈I．高速扫描制备的聚合 的能量和更快的速度。图I中的功率为 35m w，扫描迷度为600ttm／s。 通常在已经聚合的结构周围，会存在没有完全聚合的部分．这部分在后续显影等 22l 过程中会被清洗掉而不显示出来。但是．当两个聚合结构足够接近时，这些未完全聚 合的部分会由于再次光照而互相加强．通过二次聚合完成低聚物向固体高聚物的转 变。当有激光扫描这些区域时，可以采用{|t／d,的能量或轻快的速度就可以引发二次聚 合，从而得到特征尺度更小的聚合线条。即使没有额外的激光扫描这些区域。制各第 二个支撑结构时，激光焦点的边缘部分也会增强附近的结构周围的未完全聚合的部 分．将两个支撑结构中间的空隙连 接起来。由于激光能量变化和周围 抖动以及清洗过程中引起的收缩 等原因．连接区只有部分聚合物的 强度足够人而保存下来．形成柬状 结构(图2)。图2中的激光功率 为40mW。当两个支撑的矩形结 构的间距大于900hm时(Sl和S2 区)，间隙很干净，没有多余的结 构。而当问距降到750hm以下(S3 区)，中间出现了二次聚合产生的 图2．二次聚合产生的聚合线 聚合线束。线条的特征尺度可以达 到35nm。 我们利用二次聚合制备了纳米针尖。在两个支撑结构的相对边制各一些周期性 突起．当这些突起相互接近 时．由于二次聚合产生连接 两个突起的细线。当距离报 近时，线条比较粗，会一直 保存F来。距离逐步增加后． 这些细线靠近突起的两端 图3二次聚台产生的纳米针尖 222 较粗，而中间部分较细。在后处理中线条会从中间断开形成纳米针尖。图3是突起 相距800nm时产生的一系列纳米针尖及其放火图。 本文在两个相距较近的聚合结构之间通过提高扫描速度平¨采用二次聚合，将特征 尺度降到25nm以下，这种方法将可以川米制备高精度三维纳米聚合结构。 参考丈献： featuresforfunctionalmicro· 1．S．Kawata，H．B．Sun，T．Tanaka，andK．Takada,“Finer 41 devices，”Nature2，697--698(200I)． on resolutionin 2．K．Takada，H．B．Sun，andS．Kawata，“Thestudyspatial two—photo