飞秒激光微细加工技术在MEMS及微光学无件中的应用研究.pdfVIP

飞秒激光微细加工技术在MEMS及微光学无件中韵应用 翟晓敏，黄文浩 中国科学技术大学精密机械与仪器系， 230026安徽省合肥市金寨路96号 摘 要 飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维柔性加工优势，在 MEMS器件及微光学器件加工中有着广泛的应用前景。阐述了飞秒激光双 光子加工技术的原理和特点。介绍了用自行研制的飞秒激光双光子微细加工 系统加工出的一套可动的MEMS器件——齿轮轴系统、光驱动微型转子、 微光学透镜阵列及木堆型光子晶体。并对飞秒激光双光子微细加工技术的应 用前景进行了展望。 主题词：飞秒激光、双光子微细加工、MEMS、微光学元件 l 引 言 随着微机电系统(Micro—Electro—Mechanical 用领域的飞速发展，人们对微细加工的要求不仅向缩小尺寸和提高精度等方 向进行，而且越来越向着加工多样化的方向发展。传统用于微型机械的制造 技术已经不能满足其进一步发展的要求。飞秒(1．厣=10叫5J)激光技术和光 学显微镜技术的发展，使得利用飞秒激光和双光子共焦激光扫描显微镜 laser SM)进行实时原位三维 (two．photonscanning microscopy，简称TPL 0飞秒激光双光子微加工技术以 MEMS微器件的微细加工成为可能[1，2 其特有的三维微细加工的优势，在制造具有复杂表面形貌的二元微光学元件 时也显示出其特有的加工过程简单、快速、准确等优点，显示出了巨大的应 用潜力和诱人的发展前景。本文将对这一技术的原理、方法及其在MEMS 及微光学元件中的若干应用进行综述和评论。 2 飞秒激光双光子微细加工原理 2．1 飞秒激光双光子加工原理 在激光照射下，基态荧光分子或原子吸收一个光子后成为激发态，随后 又弛豫到基态，同时以光子形式释放能量而发出荧光。这～过程就是通常的 333 在同一量子过程中，同时吸收两个光子而成激发态，这种情况就是双光子激 发现象【4】。圈1简单地描述了这种双光子激发过程。单光子激发时，反应 物在能量为∞的光子激发下产生(国一dco)能量的荧光。而在双光子激发时， 反应物则需要同时吸收两个能量为co／2的光子才能产生(脚一do)能量的荧 光。 图1双光子激发过程 图2单、双光子激发所产生的荧光形貌 由于双光子激发所产生的荧光强度(，，)与激发光的光强平方(E) 成正比，因双光子激发具有很高的空间局域特点，如图2所示。由于单光子 激发的线性过程，整个激发光路里的样品都由于激发而发出荧光，而对于双 光子激发而言，只有在焦点处～的微小区域内，样品才能吸收足够的能量而 发出荧光。 飞秒激光双光子微加工技术具有以下的优点。首先，采用近红外的飞秒 激光脉冲进行加工，由于红光具有较强的穿透能力．因而可以在材料内部进 行深度的三维微细加工；其次，由于使用的是近红外的激光，因而就可以避 免使用较难加工和昂贵的紫外光学元件；第三，双光子激发过程被紧紧局域 在焦点附近的很小区域(体积数量级为刀)，不损伤焦点以外的材料，具备 极其优越的空问分辨率。因而，飞秒的取光子加工具有不需要掩膜、一次成 型的真正的三维加工和高分辨的特点。 22飞秒激光器系统 本实验室结合在微纳米技术和显微镜技术研究中取得的成果【5】，自 行开发了一套双光子微细加工实验系统，如图3所示。图4给出了我们自行设 334 计的振荡级的飞秒钛蓝宝石激光器谐振腔的元件布置图。该系统中，获得振 f mn，脉宽80s，重复频率80MHz，平 荡级钛宝石飞秒激光器中心波长800 由CAD设计的微器件模型经控制软件处理后生成相应的驱动命令，根据计 算机发出的驱动信号，驱动PZT