MEMS百叶窗的设计与仿真研究.pdfVIP

MEMS百叶窗的设计与仿真 李强 沈志勇 宣益民韩玉阁 (南京理工大学动力工程学院，南京210094) 摘要航天热控用MEMS百叶窗作为可变发射率热控技术之一。它的突出特点是耗能少、灵 敏度高。从形状、驱动和测试等方面对MEMS百叶窗进行了简单介绍。对转动式和平动式两种情 况下单个典型的MEMS百叶窗进行了辐射散热分析，井结合实际的加工水平，给出了MEMS百叶 窗的结构设计，并用ANSYS软件进行了仿真。 关键词MEMS百叶窗，热控，VEC。 引言 微小型航天器必然要具备高度智能化，实现自主管理和运行，这就对热控系统的自主管理和嗣节能力提 出了很高的要求，不仅要求热控系统对整个航天器的热量进行统一管理、分配和利用，而且要求在航天器遇 到意外情况，如机动变轨或姿态发生变化导致外热流有较大变化，或者航天器工作模式和功耗有较大变化 时，热控系统要有很强的自动调节能力。保证热控系统能够正常工作。传统的以被动热控为主、主动电加热 热控为辅的热控设计由于电功率需求过太、对航天器姿态和工作模式要求荷刻、主动调节能力不足等原因， J。 难以适应微小型航天器的要求，需要对新型智能热控制设计方法和技术进行概念研究”、2 近年来国际航天器热控领域前沿研究热点之一的可变发射率智能型热控技术是适合于微小航天器应用 的先进主动热控技术，可变发射率热控器件是一种薄膜器件，体积小，质量轻，能够根据航天器温度，在控 制信号作用下(或自主地)调节自身的发射率或太阳吸收率，从而提高航天器的自主管理能力。据美国 NASA文献报道，可变发射率智能型热控技术可以节省系统电加热功率90％左右，减轻热控装置重量75％ 左右，非常适合于对功率和重量要求非常苛刻的微小型航天器。NASA在“新盛世计划”的“空间技术5(ST 一5)”中，将可变发射率热控技术确定为需要重点发展的7项技术之一。 在诸多的可变发射率方法中，MEMS百叶窗可变发射率技术具有原理简单，不涉及化学变化，能够实现 局部温度微调等特点。它所采用的是正在飞速发展的MEMS加工技术，并且在工艺加工上易于和传统的 fc工艺相结合。将来随着MEMS加工技术的不断成熟，MEMS百叶窗的结构和性能将会发生很大的变化。 因此，对MEMs百叶窗可变发射率热控器件技术的研究就具有了较高的实用价值。 出了MEMS百叶窗热控装置的系统构成以及其工作过程；在MEMS百叶窗的形状及打开方式的研究方面， R．Osiander等人提出了三种方案，分别为平动型、转动型和折叠型【3、4J，如图1所示。 图1三种不同彤状的百叶窗 413 在MEMS百叶窗的驱动方面，理想的驱动器应该是占用面积小、输出力大、在静止状态时耗能很少或不 耗能。目前MEMS百叶窗采用静电梳作为其微驱动器。虽然静电梳的输出力较小，占用面积较大，但它具 V工艺，使得其占用面积较小，并且输出力得 备能耗低，响应时问短等优点。另外，由于其采用了SUMMIT 到增强。 GarrisonDarrin和Robert 在MEMS百叶窗性能测试方面，Ann 使用多用户MEMS工艺(MUMPs，Multi—UserMEMS Physics 大。但随着设计及工艺的改进，百叶窗与整体的面积比将会变大，其当量辐射率的变化能力也将得到改 善限“。 图2 MEMS百叶窗的辐射教果图 MEMS百叶窗在投入实用前，还有很多问题需要解决，如机械结构与衬底之间的粘附．干摩擦，机械疲 测试三颗卫星的星座式协同工作的性能，另外检验一些新的技术及设备在实际太空的工作情况。其中就包 括了MEMS百叶窗以及电泳和电致变色这三种可变发射率热控装置。 因为国外航天器热控用MEMS百叶窗目前仍处于实验阶段，另外国内的MEMS加工设备及加工能力 相对落后，因此国内没有关于热控MEMS百叶窗