MEMS+CAD及其模拟软件研究.pdfVIP

MEMSCAD及其模拟软件 黄庆安 匡一宁秦明李伟华 章彬朱柯 鞠珍华严先月张昭勇孟为民 张佩君 (东南大学徽电子中心，南京210096) 摘妥 本文首先讨论了东南大学正在开发的MEMSCAD软件的系统结构和工作流程，然后 通过一个器件级模拟的例子对软件的二作进行了说明。 关健字 MEMS,CAD.模拟 J J 1。 引言 MEMS(Micr-oElectr-oMechanicalSystem,微电子机械系统)是将微传感器、微执行器、 徽机械和电路集成在一起的一种系统。它在汽车、医疗、航空航天等领域有广阔的应用前景。 MEMS产业化面临关键技术的挑战，这些关键技术是CAD,测试和封装等。本文主要介绍 MEMSCAD及东南大学正在开发的相关软件。 与IC类似，开展MEMSCAD研究的主要愈义有:(1)理解微小范围内电、磁、热、机 械等能f之间的相互作用，优化MEMS结构，并为发明新的MEMS器件莫定荃础:(2)模 拟MEMS制造过程，降低MEMS的生产成本;(3)缩短MEMS设计周期。随着MEMS市 场在半导体行业市场份额的逐年增加，国外MEMSCAD的研究在经历了早期的迟缓发展后， 已逐渐形成了一定规模的市场和出现了一批领先的提供商。例如MicrocosmTechnologies, TannerResearch和Intellisense等正在提供高层次的MEMS设计工具，有些软件可在PC平台 下运行且价格合理。许多大学也是MEMSCAD市场的积极参与者，如MIT,Michigan等。 MCNC的多用户MEMS工艺(MUMPS)为开发用于MEMS设计工具提供低成本途径。MCNC 同样开发了用于集成MEMS器件的SmartMUMPS和用于高宽深比的LIGAMUMPS. 图1.软件系统结构框图 国内的MEMS及其CAD市场正在形成。大学和科研单位在研究上的前瞻性决定了他们 在近期将成为推动MEMS发展的主力。 2.MEMSCAD研究 东南大学80年代中期就开始了MEMS的研究，目前研究重点是分离的MEMS器件和CAD 技术，MEMSCAD软件为SUMEC.SUMEC目标是一个包括系统级、器件级、版图级和工 艺模拟在内的MEMSCAD软件系列。用Delphi编程，它的框图如图1所示。 整个系统分为系统级、器件级和版图级三层，它们由统一的算法库和统一的数据库支持。 每一层的内部数据接口 I〔DI)承担着联系数据库和模拟器的工作。模拟器通过IDI从数据库 中对应的层次提取所需的参数，并在模拟完成后通过IDI将数据保存到数据库中相应的层次。 IDI的另一个任务是实现不同层次之间的转换。当系统级宏模型不能满足模拟要求，系统级 模拟器会通过该层的IDI要求从数据库中调用器件级模拟结果。如果这一结果在数据库中能 够找到就直接从数据库调用;如果没有，系统级IDI会调用器件级IDI激活器件分类模拟器 完成模拟。然后器件级 IDI将模拟结果存入数据库，同时传给系统级 IDI。同样的情况发生 在当器件级模拟不能满足要求的情况下。 系统级和版图级同时拥有外部数据接口(EDI)，它们的任务是读取其它软件编辑或计算 的系统描述文件、工艺描述文件和版图描述文件并将其转换为 IDI的格式。第三方器件模块 实际上是器件级的外部接口.不同单位编写的器件模拟软件只要遵循一定的规范，就可以并 入器件分类模拟器中，并能共享整个软件公用的开发环境 (如统一算法库等)，减少重复开发 工作。 输入输出部分由各个层次自己负责。系统级的输入是一个类似于schematics的电路器件 图输入窗口。图中MEMS器件都是数据库中定义过的。如果用到没有定义过的器件，就需要 先到器件级自定义新器件，再加入电路图。自定义器件是器件级的输入，对于已有的器件， 也可以修改其物理和几何参数。版图级的输入包括版图输入和工艺描述。各层的输出曲线由 模拟器生成。值得一提的是版图 级包含一个3D生成器，它可以