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MEMS接触式开关的计算机模拟*
初建朋 郭方敏 赖宗声
华东师范大学电子系 200062
摘要:本文给出了用简单的理论模型对高频MEMS接触式开关的悬梁弯曲和驱动电压的关
系的分析，并介绍了利用有限元分析软件一ANSYS对其电学、力学及其藕合特性的计算机
模拟的过程。
关住月:MRS接触式开关，模拟，有限元法
一、介绍
MEMS器件的设计在尺寸上已经小到了可以用静电力使器件的一部分发生移动或者变
形。这一类MEMS器件包括分布线性受激器、阶跃受激器、弯曲电极受激器、微镜、徽马
达等。在这些器件的正常工作状态中含有一个受静电力驱动的部分，有一些还会使其 “接
触”到一个固定的表面。对于接触式开关，需要较为精确的知道，在什么电压下。开关会
闭合或打开。如果开关结构具有规则的几何外形和良好的对称性的话，这类问题可以用如
图1所示的简单模型来进行理论分析。
..:
capacitor
图1、梁受静电力弯曲的简单模型
其中，6为梁弯曲的高度，Fc是施加的力。L是梁的长度，d是平行板电容的板间距，
z是梁宽，z是梁高。则根据简单的梁理论有:
二‘FL筋 [1]
其中: ，=兰 [2]
12
则由111,(2)
，可以得到梁的弹性系数
K-EX丝
(3]
.本研究由国东九七三项目(c1999023105)、上海AM药会 (98年度)、离枝博士专项舀会 (”年度)、国东自钻科举若全 (资助
178 ·
:。c:石u甲石T7-
，
、
瓜
卜
，
宝 r 月 ，
.
. .
奄 L ， J
厂=尤占
而平行板电容间的静电力为
r ﹄ l
A
. 、 .
.
t ﹄ J
Fc=犷‘2
2(J一占)2
其中，A为平行板面积，d为板间距，V为板间电压。
则由[4]、5[】式可得电压和弯曲度的关系为
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