MP+ECR+离子源金属离子的产生研究.pdfVIP

IMPECR离子源金属离子的产生 张f民赵红卫张雪珍 高级元赵玉彬 刘占稳 ({‘国‘科学院近代物t})仔1.所 J乏州 7300011) 摘要 讨沦ECR离子源金属供料方法，中科院近物所在14.5GHzECR离子源_L应用炉J’加 热和MIVOC法获得Ca140eVA和}Fe65eVA.并对实验过程和结果作了分析 关键词 ECR离子源，金属离子 炉子加热.MIVOC法 1 引言 ECR离ferr创建之初 其工作物质是气体n素.随着加速器技术的发展和启了h.l化态物Pl.Wl 究的不断深入，要求离子源能产生质量更重电荷态更高的离子，而这些兀素多数足金属IL 目前产生金属离子常用的方法主要有以下几种111。 (1)炉f加热法:采用体积小、结构紧凑的金属蒸发炉，内装金属样品。直接送到离子源的 第 几级，炉子加热后产生的金属蒸汽扩散进入等离子体，实现金属元素的供料。炉子温度r「iL 当调节，以获得最佳蒸汽压。 (2)MIVOCi)t(MetallicIonrromYOlatileCompounds);利用某些易挥发h,属化合物，装Pi 真空容器内.这些化合物在常温下极易挥发.形成一定的蒸汽压。再通过送气阀送入离1`源. 操作象调试气体一样简单。这样的化合物有茂金属 (如Fe(几Hs):.Ni(C,H,):等)和六碳J,:余 I$}tl41Cr(CO)W(CO)等‘). (3)等离子体加热法:在ECR离子源中有ECR等离子体，I有物体接近或插入等离一f体时 就会受到其中高能电子的轰击而产生足够的蒸汽压。对于低熔点金属.样品放(t前沿等i)?SJ体 (不.电子约束区外)就可以产生足够的蒸汽压。而对于高熔点金属则必须接近热等离f体中心， 撇近有足够热电子的ECR共振面附近。 (4)离子溅射法:此方法是在ECR等离子体外放置 带有负偏压的金属样品.ECR艺离1` 体中的离子受到负偏压的加速而轰击金属样品的表面，金属材料被溅射到等离子体中.再逐级 离化成高电荷态离子。 根据我们的离子源特点和实验条件.选用炉子法和MIVOC法在14.5GHz离子源上产生余 属离Ye Z炉子加热法 (1)离线’灾验 把炉1放在真空室内(辞真空为4X10Pa)加热(如图I)，利用热偶测温探头来监测炉tin 度.炉子用 一台!OA/20V的直流电源供电。炉子结构如图，电阻丝绕在带有矩形螺纹的陶瓷支 Q上 支架中空，内装可放金属料的陶瓷增锅.电阻丝外用一陶瓷筒绝缘，最外层罩 一薄钊e. 川宋导电和固定炉体，同时也起绝热作用。 Wfl加热后Inn度P7达13000C.此时所加电功率为IIOW.图2给出I炉J}inn度和ii!ih-(: 的关系。、与温‘度为80(1^C时，钙的消耗量为4mg/hr.BOOT时镍的消耗TI.为2mg4u, L{文献t200:.S用增祸供给蒸汽时，材料的蒸发率近似服从): W=D-0.5lnT-A/T(gcm`s一) (I) it中常数1,D可山文献工3]中查得。 假设蒸发面积为5，则蒸发量为WS,蒸发量还与锅内物质的含量和状态有关，如果蒸汽流 RQ由A.发最限制 (Q.WS)为了保持流量不变 就需不断调节温度.这样非常小方便 所以， 我们存1,内柑r}4的前端放 ·开了f小孔(}2)的QfI环，M:汽的流R.由小孔的流y限制 而41亢个 1u决于热父7r 又囚为VCR离子源听需的余城选汽}11.iR小(约梅小叼-a允嗽级).所以.t}+Mti. 这样.当温度 〕〔叫，通过小孔的;,汽流量也就 一定，调试川，我们就可以川u.J度宋拧制余械 1e64,的供K;量 鉴于调试时的诸多不便，我们在离线实验中增加了一组比较实验.以金属钙为实验样品 分装在IL个炉f内加热蒸发，分别从样品的多少(质量)、温度、加热时问等方面进行比较，结 果见表1。其中:1与2比较的是加热时间不同;1与3比较的是加热温度不同:1与4比较的 是金属质量不同.从表中可以看出，决定金属蒸发量的是加热温度。 (2)在线实验 把提前烧好的炉子通过金属离子驱动装盖送入离子源.炉子喷气孔靠近离子源的第二级， 蒸发的金属可直接扩散进入ECR等离子体区，进行加热剥离。为了避免微波加热炉子.使炉温 便于控制，把炉子放在微波传输同轴管的内部，炉端部距同轴管口约12--l5mme 在调试Ca.时，用氧气作支撑气体，当炉子的电功率为low左右时。所得结果最