高效薄膜硅单晶硅太阳能电池研究.pdf

·734· 中国太阳能光伏进展 高效薄膜硅／单晶硅太阳能电池术 朱美芳 张群芳 刘丰珍周玉琴，刘金龙 中国科学院研究生院物理科学学院北京市100049 【摘要】 简单综述目前国内外对薄膜硅，单晶硅异质结电池的进展。着重介绍纳米晶硅， 晶体硅异质结电池的界面钝化。本征缓冲层结构对太阳能电池的光伏特性的影 响，HRTEM表明在高氢稀释条件下实现低温(250。C)硅薄膜的外延生长。优 化各工艺参数制备出转化效率为17．27％的太阳能电池。 【关键词】HIT太阳能电池硅薄膜热丝化学气相沉积 。 ‘ 7 ThinFilmSi，c-Sisolarcells ．HighEfficiency ZHU ZHANG LIU ZHOU LIU Meifang QunfangFengzhenYuqinJinlong 100049) (CollegeofPhysicalSciences，GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing 0引言和背景 with IntrinsicThin 转换效率一直保持21．6％的世界纪录【1】。与通常的晶体硅太阳电池不同，HIT异质结电池的 主要特点是在晶体硅与非晶硅发射极之间插入一层本征非晶硅膜作为钝化层。它们的结构如 图1所示。薄膜硅，晶体硅异质结太阳能电池综合了薄膜的低温工艺和单晶电池高效稳定的特 点，具有低温工艺能耗小(2500C)、耗材少(200岫+20nm)，工艺周期短、效率高和高 稳定性等优点，特别是它的温度系数是晶体硅电池的一半，它的双面结构在任何角度可增加 吸收，电产能可高出10％，垂直安装可高出34％，高的效率及功率输出可减少安装面积等诸 多优点u1。有进一步降低成本和提高效率的潜力。是实现高效、长寿光伏电池的有效技术路 线之一。 ， Sanyo宣布2007年以前增加100 “晶片厚度减至150 一 MW。 能提高到270 科学基金 基础研究、新材料及新概念太阳电池 ·735． 图1 HIT结构示意图 HIT电池也引起国际光伏界的广泛重视。最大的电池生产公司，夏普公司提出在2010 年前将多晶硅的HIT电池的转换效率提高到18％以上。欧盟为了集中欧洲的主要研究力量， 促使异质结电池研究在欧洲的快速发展，已经连续在第5和第6。European Framework 个国家的30多个大学、研究所、公司等研究机构，对异质结电池的研究和发展给予了极大的 支持。美国国家再生能源实验室(NREL)也有长期的投入。我国一些研究单位，如中科院 研究生院、北京太阳能研究所、中科院半导体所和上海交通大学等单位也相继开展了HIT电 池的制备及研究工作。无论国内或国外在HIT电池的研发方面已取得较大的进步。将各国主 要研究结果总结于表1。 表1 世界各国硅异质结电池的主要结果 method Solarresluts Research