Ni基MEMS的NiMoS2润滑层微摩擦特性研讨.pdfVIP

Ni基MEMS的Ni-MoS，润滑层微摩擦特性研究 张鹏 刘刚 田扬超 (中国科学技术大学国家同步辐射实验室230029) 摘 要 本文研究了Ni-MoS:复合电镀层在不同工艺条样下的结构特征、形貌，并分析了其摩擦 特性，发现复合电镀层厚度和MoS2的晶向对摩擦系数影响较大:即使在MoS:含量较少，Ni- MoS:复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多.这为LIGA技术制造自润滑MEMS器 件提供了有益的参考并提供低MoS:含里的Ni-MoS2复合材料的一些墓本性质。 关健词Ni-MoS2,LIGA,MEMvS,微摩擦 1. 丽言 微电子机械系统(MEMS)的研究起源于20世纪60年代发展起来的微电子集成技术。但 微电子机械并不是传统机械在尺度上的简单缩小，它带来了微纳米尺度机械结构的各种力学 及其它问题，如阻尼，热传导，流体传输，摩擦等，不能用现有的宏观理论解释，甚至缺乏 基本材料参数。微摩擦问题己成为困扰微电子机械系统开发的关键问题。 同宏观摩擦理论一样，微摩擦力与表面粘着力和载荷关系可以表达为I]]. 厂 ， F、 f=Po(L+F) 产=牛=k1ji+下) L . ” 儿 其中F是摩擦力;p。是常数，也称为真实的摩擦系数:L是外加载荷:F是粘着力:。是摩 擦系数。M.D.PASHEEY等的实验证明[21:在小载荷 (一般小于20vN)下，粘着力大小可与 载荷相比拟，甚至可以大于载荷，u不再是常数而与粘着力有关。此时p更大程度上取决于 摩擦表面几个原子层的物理、化学性质，包括表面形貌。所以必须深入研究摩擦表面的微观 结构和理化特性。 目前的MEMS微摩擦研究[9.4]表明.对于微电子机械，各种表面作用力对其摩擦力影响 较大，其影响远远超过反应机械体相性质的力 (如惯性力、重力等)，而起着主导作用。减 小微机械接触面的摩擦和磨损就必须减小接触面的表面作用力。 在LIGA技术的电铸工艺中.将适量的MoS2加入Ni电镀液，在适当条件下得到的Ni-MoS2 固体自润滑层能有效的减小接触面的摩擦磨损ll’。本文将进一步研究在不同工艺条件下Ni- MoS2自润滑镀层表面的徽观结构及摩擦性能。 2.样品制备 电镀液的配方见文献[[4).实验中MoS2在电镀液中所占质量百分比均为6%。样品的厚 度是用。-500型台阶仪测量的。电镀过程中，我们发现在小电流密度 (QAIdm2)下，搅拌 对Ni-MoS2复合电镀层的表面形貌有明显影响.图I是电铸系统的简图。如果在阴极的n面 涂上绝缘层，m面上得到的Ni-MoS:复合电镀层表面有一些条纹状凸起，很粗糙;如果在m 面上涂上绝缘层。则在n面上能得到平整的镀层。样品A,B是在m面上得到的;样品C, D是在n面上的到的。样品的电镀条件和厚度见表1. 表 l样品的电镀条件和厚度 }B C 一}D 样品编号 }A } 2八月m }1Aldm 电流密度 4AMm }1.5Aldm 一 膜厚 一 }l0um gum lum 10..l1 温度 · 一}50*C 50C 50C 50C 45 ((102) ((1，0(s3))