OEIC基本器件等效电路与计算机辅助分析技术（国家自然科学基金资助项目）研究.pdfVIP

OEIC基本器件等效电路与计算机辅助分析技术 (国家自然科学基金资助项目) 彭定敏 刘殊松 邓桂华 王士良 武汉邮电科学研究院固体器件研究所(430074} 华中理L大学固电系(430074) 摘要:分析了以光电二极管、DFB激光器、DBR激光器的等效电路的特点，由于其平面工艺，使得以这些 基本器件组成的OEIC.PIC及与之配合的电路系统，与大规摸集成电路网络具有类似的特点，等效电路以 并联支路的混联形式为主，其计算机辅助分析技术应该采用类似的方法，即采用改进节点法对其是适当 的，能够简化CAA对夏杂网络建立方程的过程和减少运算透. 关健词:OEI 改进节点法 计算机辅助分析技术 平面一艺 一 、前言 随着科学技术的进步，半导体集成电路技术得到了充分的发展，在此基础上发展起来 的集成光电子器件和集成的光子器件，由于其高速度、小体积和低成本等特性，在新一代 光纤通信领域中充当了十分重要的角色. 所谓的光电集成电路是指利用微电子和光电子的集成技术、将光学器件和电子元件集 成在同一块晶片上而形成的单片电路;所谓的集成光子器件是将有源器件和无源器件或光 波导等集成在一块芯片上的光集成器件.将来的发展趋势可以认为是把PIC和OEIC结合 起来，构成完整的能够同时进行光信龟、电信号处理的具有某种功能的光电集成器件. OEIC技术在光通信领域中应用主要集中在光发射机和光接收机方面，PIC将在光通信系统 中的光学时分复用、波分复用中发挥重要的作用. 通过对大规模集成电路基本单元等效电路和网络特性的研究可知[11[21，由于其平面工 艺，使得集成电路的等效电路由容性器件和恒流源组成，复杂电路网络 (包括立体网络) 主要由许多并联支路的混联形式组成，所以在建立电路方程中，人们大多采用改进节点法. 通过采用改进节点法，可以对复杂电路网络简单地建立电路方程，并进行求解.由于光电 集成电路和光子集成均采用了半导体集成电路相同的平面工艺[31，因此在其计算机辅助分 析技术的分析方法具有类似的特点. 二、光电二极管 光电二极管是一种用于光检测的典型半导体器件，由于它具有低噪声、高量子效率、 较宽的线性工作范围等特性，因而得到了广泛的应用，非常适合于激光探测.硅一洗 电二 极管是一种常见的器件，它有两种类型:pn型和np型.图一是 扩n型的光电二极管的 基本结构[41, 302 v o R L 图一 pn型的光电二极管结构图 ! Ri}IC L v 图二 p}n型的光电二极管交流等效电路 Rj:结电阻 (I0IQ) Rs:串联电阻 (10052) C:结电容 R,,:负载电阻 图二是硅一光电二极管的交流等效电路，图三为硅光电二极管的噪声等效电路 图三 硅光电二极管的噪声等效电路 集成硅一光电二极管通常采用平面工艺方法进行制造，与集成电路一样，会造成器 件中的寄生电容和本征电容，其等效电路主要特点是由并联的电容电阻和电流源组成，这 样才能真正体现出其特性参数的意义;在分析由许多个类似这样特性的器件构成的集成芯 303 | 片时，其复杂网络等效电路应该与集成电路具有相同的特点，整个复杂网络等效电路的主 要特点是由并联的电容电阻和电流源组成，从计算机辅助分析软件特点可知，OEIC和PIC 中采用改进节点法来建立方程的计算机辅助分析技术应该是恰当的. 光纤通信系统的传输速率己进人GbiUs的时代，2.5GbiUs的系统己实用化 卜实验室的传 输