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基于有限元的亚微米级微进给装置性能分析与设计
第 1期 机械 设计 与制造
2009年 1月 Machinery Design Manufacture 55
文章编号 ：1001—3997(2009)01—0055—03
基于有限元的亚微米级微进给装置性能分析与设计 术
王树林 陈兴华 张 兵
(江苏大学 机械工程学院，镇江 212013)(淮阴工学院 江苏省数字化制造技术重点建设实验室，淮安 223001)
Performanceanalyseandmachinerydesignofsubmicro——actuatorbased
onfiniteelementanalysis
WANGShu—lin．CHEN Xing—hua1,2ZHANGBing
(CollegeofMechanicalEngineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang212013，China)(DigitalManufacturing
TechnologyLabofJiangsuProvince，HuaiyinInstituteofTechnology，Huai’nn223001，China)
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摘【 要】介绍了一种新型的液压式微进给装置。在模型简化的基础上，给出进给装置结构设计公 4
式，利用有限元软件ANSYS对结构变形进行分析，并在此基础上设计了微进给装置，对其特性进行了分 f
析。分析表明进给装置能够同时满足输出与输入是线性关系，刚度高等特点。 I
关键词：液压；微进给装置；有限元分析；线性度；高刚度 》
3 A【bstract】Anewtypeofmicro—actuatorispresented．Onthebasisofsimplifiedmodel，des 《
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iactuatorCanmeetrequirementwhichislinearity，high-stiffnessetc．simultaneously．
《 Keywords：Hydraulic；Micro-actuator；Finiteelementanalysis；Linearity；High-stiffness 》
中图分类号：TG502．32。TB115 文献标识码 ：A
1引言 过程中一定的迟滞、非线性和蠕变等不 良特性13}，设计出一套液压
驱动的弹性变形微进给装置，具有刚度高，线性度好，结构简单等
微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一，随着电
特点，可以解决这些问题。
子技
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