Research+on+the+Technology+of+Calibrating+the+Optical+Spherical+Figure+Measurement研究.pdfVIP

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2018-01-08 发布于未知
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on the Researchthe of CalibratingOptical Technology Measurement SphericalFigure CHEN SHA LIN ZHOU Ling—fengDing—guom—IIling Tao—geng Measurementof Instituteof (Optical Lab，DeptOptical Technology, Engineering，Beoing 10008 Beijing1，China) AbstractThelaser interferometersale usedin phaseshifting mostly opticalfigure a11usestandard lensto refeFence transmission measurement。they produce spherical wavefront．butthewaveaberration lensitselfCan’tbe ofstandard spherical completely eliminated makesthe duetotherestrictionson fabricationand optical assembly，this measurementof call reachtOⅪ10 uncertaintysphericalfigureonly rms(L=632．8nm)． The to themeasurementiStO refeFence keyimprove accuracyproducehighquality spherical wavefront．Pointdiffractionisafundamentalthat the of processpermitsgenerationnearly wavefrontovera numefical perfectspherical specific aperture rnliS introducesamethodoffiber diffraction point interferometry paper phaseshifling calibrate