YBCO超导薄膜的氟化研讨.pdfVIP

第五届全国超导稼膜和超导电子器件学术会议论文集 YBCO超导薄膜的氮化研究 傅泽禄顾大振刘雷赵恩海康琳冯一军王晓书 ‘尹晓波’杨森祖 南京大学电子科学与工程系 南京210093 1南京大学现代分析中心 南京210093 2南京大学物理系 南京 210093 [摘要】本文利用M气体，对YBCO薄腆表面进行可控的r#等离子体氮化处理.AFII与XPS的分析 结果表明:适当的报化所起的作用主要为化学作用.氛化可造成Y(3d)与0(1s)两元素的本征峰相对 强度减少，甚于消失，而对其它元索则影响不大。本文的研究为利用等离子体板化YBCO膜形成弱化 势垒层提供了初步结果。 关健河 YBCO薄膜 等离子体妞化 结 (健〕合筋 表面形貌 1、 引言 自离温超导(HTS〕材料出现以来，人们对 “TS薄膜表面和界面性质进行了大里的 研究。从应用的角度来看，早期人们研究了超导膜表面淀积金属层时吸附原子与HTS 膜表面的反应而导致表面电子价态和化学性质的改变。从而找到了对于HTS膜呈欧姆 接触的合适金属电极材料和防止表面退化的保护层;接着研究了中子、离子束等粒子 流辐照之下对HTS超导电性的形响，普进认为高能粒子束轰击后将对IM 的结构和超 导电性产生退化作用，甚至是不可逆的:之后，人们采用在真空或非氧环境中加温脱 氧或用准分子傲光辐照下的局域加热脱载，使HTS膜局域改性，并构成图形 1〔3[23: 近期，有人采用在载气氛下，对尽出的HTS膜侧面局域进行修正(modification)处理， 而形成 “界面处理结”(Interface-Engineeredjunctions)[33。从这些研究中可以 看出IM表面对于环境气氛是十分敏感的。在一定的条件下可以对表面的电子特性进 行修正而形成弱化势垒层，它蓬本上是一种同质势垒层，比之于异质势垒层，它较易 于实现，因而界面处理结的方法不失为一种值得推荐的制结方法。 本文提出一种采用CF4气体等离子林 (plasma)放电的方法对HTS薄膜表面进行 处理以造成超导电性的弱化。与脱氧弱化相比，在稳定性和便于局域控制方面有一定 长处。下面我们将叙述我们在等离子体氟化YBCO膜方面的初步结果。 2、实验 我们利用激光淀积的方法在YSZ衬底或LaA10}衬底上同时制备多个YBCO超导薄 膜样品。在制备好YBCO超导薄腆后，马上将部分新鲜的YBCO进行XPS分析;与此同 时，另一部分YBCO样品放到射频溅射系统的真空室内进行射频等离子体氟化。氟化时 ·由国家超导技术研究与开发中心、国家龙A塞砒研尧专顽要瓦- 本文于2000年6月19日收到. 30 傅泽禄:Y砚0超导薄膜的撅化研究 工作气压 (FC4)约10Pa，阳极电压 (Ua)300Vo1000V，阳极电流(la)0.02A的0.15A， 所用的射频频率为31.56洲2。在氛化后所得的样品，也立即进行XPS分析，以作比较。 另外，为了摸索了多种条件下氟化对n犯0超导薄膜输运特性的影响，我们将一些 样品蒸上银电极，用导线引出真空室外。实时地检侧样品在氮化时的电阻变化。为了 得到氮化犯CO膜表面形貌变化的信息，我们在一些样品上部分涂以较厚的光刻胶 8(9加胶)，未涂胶的部分被进行氛化.然后经去胶，用人FM进行形貌分析， 3、结果与讨论 ()1、等离子体氛化后BYCO表面结合能的变化 首先，对于没有经过氛化的新鲜BYCO表面的051、Y(3)d、uC(Zp)、Ba4d()等结 合能诺进行了分析，所得的结果与D.F.而1.r等人的结果荃本相符[3〕。表明，样品 的制备、输运和侧试过程基本正确。氛化过程中，通过调节阳极射频电压从 300V到 0100V的不同值来改变不同样品的氛化程度，如轻度氛化时，取Ua二组犯Y，aI城0.OAZ， 辉光的边缘离样品约有2o3cm的距离的条件下，氛化约 巧分钟:深度氛化时，取 }佃，。.，司咬，.，{ ︹ 一 ‘ ~ . 急 ﹃ 咨 一 卜 兰