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第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报
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年 月 #MNO;P; Q$R@OD1 $I 1$S T;-7;@DTR@; 7M!PN#P ,
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!#$ 液相外延生长初始阶段的研究
胡 剑 姚 忻
上海交通大学物理系,上海 %’
通过液相外延生长的方法能制备高质量的 ( )超导厚膜 利用高温金
!( #) $ !#$ ,
% ’ * + !
相显微镜,在大气气氛下实时观测了沉积在-.$ 基片上的!#$ 薄膜熔化过程以及随后冷
却过程中的液相外延生长初始阶段, 通过对包晶分解过程的控制,留下部分微米级!#$ 晶
粒,并以此作为外延生长的种子, 实验结果表明,通过包晶反应 ! (#)$ 0 123)24 !
% /
,能在这些剩余的 晶粒周围快速外延生长出 晶体 本文探讨了初始
!( #) $ !#$ !#$ ,
% ’ * + !
阶段的生长动力学以及外延生长取向问题,
5 引 言
近年来,很多研究者致力于生长高质量的超导晶体 在各种生长方法中,液相外延(
, 1236
, )生长是一种非常有前途的材料制备技术,利用这种方法目前已经能
)24 78(9: ;2=(? 17;
制备出大面积、低缺陷和具有高结晶性能的厚膜 其特殊性在于,液相外延生长在高温熔液
,
中进行 与通常气相沉积薄膜生长技术相比,在制备超导体晶体时它的主要优点是它在非真
,
空环境下成形,因此制备成本相对较低,并且具有相当高的生长速率,这是由于溶液中比气
相中含有更高浓度的溶质, 所以常被用来生长@;#$ 系列的超导厚膜,利用液相外延生长
( )的方法制备的 超导厚膜具有高的临界温度 (超过 )和临界电流密度
17; @;#$ ! AB #
[ ]
C % 5 G H
(达到 ),而且有很好的表面平整度(抛光处理后可达到纳米级) 单晶氧化镁
5 DE FF ,
( )成为应用最多的 液相外延生长基板材料,原因是该材料不但与 有较好的
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