X射线能量色散谱仪简介.pptVIP

* * EDS可与EPMA、TEM、SEM等组合，其中SEM－EDS组合是 应用最广的显微分析仪器。 特征X射线的产生 内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上，电子轨道 内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时，多余的能量以特定波长的X射线光量子的形式放出就是特征X 射线。 Si(Li)探测器 N＝E/3.8 计数率 每秒钟接收到的X射线光子数。这里的接受指的是已转换成电脉冲并被 仪器处理的信号。 死时间 能谱仪进行信号处理的时间，或者说拒绝接收输入计数的时间，占全部时间的百分比。 或用数学表达式 死时间%=(输入计数率-采集计数率)/ 输入计数率 *100% 试样中元素特征X射线的强度IA与试样中元素的含量成比例， 所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与 标样中A元素的X射线强度I(A）比，近似等于浓度比： KA=IA/I(A) ～CA/C(A) KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A) ZAF为修正系数： Z：原子序数修正因子。（与电子束散射有关） A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生） 强度比：K＝IS/Istd Istd是标样强度，它由纯物理计算，或用标样数据库给定的， 适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。 通俗讲，能谱的能量分辨率是指Mn Ka（5.89KeV）的半高宽.能量分辨率一般标准为130eV。 能谱制造商用Fe 55放射源来测试，Fe 55能够提供2500cps左右的计数，特 征能量为5.9Kev. 但是工程师不可能携带放射源到客户现场来测试能谱分辨率，因此用特征能量和Fe 55非常接近的Mn标样来替代Fe 55测试能谱分辨率。 定义：特定分析条件下，检测到元素或化合物的最小量值， 即某种元素能够检测到的最低含量。一般认为，材料中某元 素的X射线强度N等于本底标准偏差的3倍时，（即N＝3）该元 素肯定存在，其置信度为99.7%。 通常EDS检测限为0.1%-0.5% 定量结果及允许误差 对定量结果必须正确选取有效位数。EDS定量分析结果，小数点后保留一位，原始数据可以多保留一位。 EDS的相对误差 “电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准 元素含量范围 允许的相对误差 含量＞20%wt 5% 3 %wt含量20%wt 10% 1 %wt含量3%wt 30% 0.5%wt含量1%wt 50% *