硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计研究.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 Deflection ofPiezoelectric Based111 Modeland Cantilever Optimization Multilayer Silicon, FANG Li—tian，REN Hua-jun。，LjU Tian—ling (InstituteMicroelectronics，Tsinghua100084，China) of University，Beijing Abstract：Aconcisedeflectionmodelfor cantilevermicroactuatorsiSderivedtheradiusof piezoelectric using curvatureof cantilevers．Basedonthemodel，the cantilever piezoelectricmultilayer piezoelectric tuatorsPZTfilmonsiliconaresimulatedand relationsbetweenstructural using analyzed．The ofthefilmsanddeflection ofmicroactuatorsareobtainedinthe displacement termsofthe results，the cantilevermicroactuatorsare and analytieal piezoelectric designed the methodsare forward． optimal put film；cantilever；microactuator Keywords：MEMS；piezoelectricmultilayer EEACC：2860A；8380M 硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计 方华军+，刘理天，任天令 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘 要：利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径，导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型．采用此模型，对硅基 PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析．分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系．根据此分析结 果，进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计，并给出了优化的方法． 关键词：MEMS；压电多层膜；悬臂梁；微执行器 中图分类号：TN384 文献标识码：A 由于压电材料本身直接的压电应变输出都很 电层悬臂梁结构如图1(b)所示，它由两层压电材料 小，不能满足通常的应用要求．因此，在MEMS器件复合而成．当其中一层在电场作用下收缩时，另一层 中，采用各种结构设计来放大压电微执行器的输出 则在电场作用下伸长．这种非对称的收缩和伸长将压 位移．最常用的压电微执行结构是悬臂梁结构[1‘4]