磁控溅射陶瓷薄膜SiOX阻隔性机理的研讨.pdfVIP

磁控溅射陶瓷薄膜(SiO ) 阻隔性机理的研究 X 刘壮，林晶，孙智慧，高德 （哈尔滨商业大学，哈尔滨150028） 摘要：主要研究了磁控溅射镀陶瓷薄膜 （SiOX ）使PET 基体阻隔性提高的机理，并对SiOX 层的堆积结构做了假设及理论分析，结合SEM 形貌表明磁控溅射SiOX 层存在层状结构及针 孔随机分布，阻隔性的提高可由努森扩散和层流两种机理加以解释，即在一定的压力差下， 阻隔性提高决定于针孔的分布、陶瓷层厚度以及SiOX 层数。 关键词：磁控溅射；陶瓷膜；努森扩散；层流 中图分类号： TB484. 5 文献标识码: A The Barrier M echanism Research of The Ceramic Thin Film By Magnetron Sputtering LIU Zhuang ，LIN Jing ，SUN Zhi-Hui，GAO De (Harbin University of Commerce, Harbin 150028, China) Abstract ：SiOX films were deposited on the PET surface which enhances its barrier by magnetron sputtering in this article , and the mechanism of the barrier enhancement was researched, and the supposition and the theoretical analysis to the SiOX films depositional appearance were made. At the same time, there are laminated structures and the random and distributional pinhole s under the SEM appearance, which indicate the impediment enhancement may explained by Knudsen diffusion and Poiseuille flow, namely under certain pressure difference, the impediment enhancement decided by the pinhole distribution, ceramic level thickness as well as the quantities of SiO layer s. X Key words ：magnetron sputtering; the ceramic thin film ;Knudsen diffusion; Poiseuille flow 随着人们生活水平和消费水平的日益提高，对塑料包装的高性能、多功能性及环境友好 性的要求越来越高。其中，高阻隔性作为包装材料的主要功能，日益受到人们的关注。高阻 隔性材料用于可重复使用的食品、化妆品、白酒、葡萄酒和啤酒包装用材料，特别是制作啤 酒瓶可避免玻璃瓶对人体造成的伤害及改用“B字瓶后成本的升高，巨大的潜在市场给高 阻隔塑料行业带来了难得的发展机遇。开发高阻隔性 PET 符合世界聚酯包装材料高效、节 [1-2] 能、环保和生态发展的趋势 。 [3] 上世纪 80 年代中期，日本开始研究镀硅膜，又称陶瓷镀膜 。欧美国家也在这一领域 进行研究，在加工工艺和产品性能上取得了较大的进展。从90 年代进入应用性实验阶段。 近年来，在日本、欧洲阻隔性薄膜的消费量每年以 10%左右的速度增长；而美国阻隔性树 脂的消费年均增长13.6%[4]。目前，我国实际应用这种包装阻隔材料还需依赖进口，国内的 部分科研机构和大型的塑料包装生产企业开始着手研究此项课题。有关专家预测：今后 5 年内，氧化