磷酸处理ITO基底对有机发光二极管性能的改善研究.pdfVIP

oLED 2006 基金项目：广东省自然科学基金项目【No．021169) 磷酸处理ITO基底对有机发光二极管性能的改善 翟琳，仲飞，张志律，刘彭义 暨南大学物理系，广州510632，E-marl：tlpy@jnu．edu．cB 附及表面极性的改变，进而改变表面与周围环境或吸附层的 摘要 作用。制作OLED时，首先要对ITO玻璃进行清洗，常规清 用10％、15％、20％三种浓度的磷酸分别对ITO玻璃进行处 洗采用异丙醇浸泡，无水乙醇和丙酮搽洗、超声，去离子水 理，四探针测试表明其面电阻基本不变，原子力显微镜观测 反复多次冲洗，但ITO膜表面粘附的有机污染物仍难以全部 到酸处理后的ITO表面形貌更加平坦，紫外一可见光光谱显 去除。通过表面处理能够进一步去除ITO膜表面的有机污染 示出磷酸处理几乎不影响可见光透过率保持不变；以之为基 物。增加ITO薄膜表面与有机层的结合，增强ITO的空穴注 底制备了典型结构(ITO／TPD／Alq／A1)有机发光二极管 入能力，使ITO表面功函数增加。表面处理虽然不能改变材 (OLEDs)，并对其光电性能进行了测试，结果表明在经过浓 料内部的组成，却对ITO表面组成有明显的影响。 度为15％的磷酸处理过的ITO玻璃上制备的OLEDs表现出 对ITO的处理主要是为了提高其表面功函数，导电能力 最好的光电性能，其发光最大亮度和发光效率分别是未经酸 和调节其表面粗糙度，表面特性直接影响器件的寿命、开启 处理的的ITo上器件的近2倍。 电压、发光效率、亮度和稳定性，对ITO的表面处理可分为 物理方法(热处理、氧等离子体处理、惰性气体溅射清洁、紫 外线照射等)和化学方法(酸、碱处理)[3一16】。 关键词 OLEDs；表面处理；ITO；电致发光效率 酸是因为磷酸为不易挥发的强氧化性酸，且ITO对磷酸的敏 中图分类号：TN383．1；0484．4文献标识码：A感度低，便于控制反应和处理。对磷酸处理前后的ITO玻璃， 观测了它的面电阻、表面形貌的变化和光透过率，并用其作 1引言 为阳极制备了有机发光二极管，研究了磷酸处理ITo对 OLEDs光电性能的影响。 ITO(氧化铟锡)薄膜具有良好的导电性能和较高的功函 数(约4．7ev)。在可见光范围内(400—800nm)有很高的透过 率(90％)【l，2】，而成为OLEDs阳极的首选材料。而且ITO薄2实验 膜坚固、耐碱、耐高温，同时具有很好的刻蚀性能，这有利 实验所用的ITO玻璃基底是深圳南玻集团生产的未抛光 于对它的微细加工，将其刻蚀成不同电极图案，制备各种实 ITO玻璃，面电阻约40Q／square，膜厚约100am。将常规 际需要的OLEDs点阵或图形。对OLEDs性能有直接影响的 一个重要因素是载流子从电极向有机层的注入率，这一注入 酸一定时间，清水冲洗后，再按常规方法清洗，用SDY一5 机理发生在电极和有机材料之间，所以作为OLEDs阳极的 型四探针电阻测试仪测量其面电阻。用美