超平整热蒸镀金膜的制备和形貌结构表征研究.pdfVIP

弟六届奎一表面工程学术童截 兰州 2005年8月 超平整热蒸镀金膜的制备和形貌结构表征‘ 庞重军1卫3林义民1·3严洁1 (1．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室甘肃兰州730000； 2．茂名学院广东茂名525000；3．中国科学院研究生院北京100039) 摘要：本文以原子级平整的云母和硅片作表面模板，用PVD热蒸镀的办法分别沉积上1．3nm和 5．0nm的金膜．以云母和硅片为模板沉积的1．3nm厚金膜的形貌有明显差异：前者表现为直径为 ～80nm的卵石状结构，而后者呈现出直径为一50nm的较为均匀的团簇；两者均为非晶膜，其均方 根粗糙度分别为0．12 nm和0．07nm．云母上沉积的5m厚金膜表现为紧密堆栈的团簇形貌，团簇 直径为一20rim；用谢乐方程估算的晶粒尺寸为～5 nm,-与薄膜厚度相当．角分辨XPS全诺扫描结果表 明所有样品的金膜覆盖率都较高，裸露区域最大线宽不大于10sin． 关键词：金膜，制备，表征，超平整，热蒸镀 金、铂等金属由于具有良好的导电性