超硬涂层技术分析研究.pdfVIP

超硬涂层技术分析 超硬涂层技术分析 吴越侠(1) 边振纶(1)昊大维(2) (1)北京长城钛金有限公司，北京100085 32 (2)深圳森美真空镀膜有限公司，深圳5181 摘要：本文对提高超硬涂层的质量进行技术分析。采用真空镀膜新技术：孪生靶中频交流磁控溅射、偏压离子镀 和离子源是沉积优质膜的基础。为适应高速切削、干切削和难加工材料的切削，在TiAIN的基础上添加更多的合 金元素以提高涂层的抗氧化性、韧性和显微硬度．纳米超晶格复合膜和纳米晶一非晶结构的超硬复合膜的出现为设 计新的超硬涂层开拓了崭新的领域。完善的和谐的先进沉积工艺是最终获得优质超硬膜的技术保证。 关键词：真空镀膜 薄膜材料 超硬涂层 中图分类号；TB43：0484 0引言 在我国珠江三角洲地区，真空离子镀装饰膜产业非常兴旺，据不完全统计，深圳市就有真空 镀膜企业九百多家。三大产品：手机外壳、手表壳表带和眼镜架镀装饰膜，在深圳市镀膜的产品 占了世界