超硬涂层技术分析研究.pdf

超硬涂层技术分析 超硬涂层技术分析 吴越侠(1) 边振纶(1)昊大维(2) (1)北京长城钛金有限公司，北京100085 32 (2)深圳森美真空镀膜有限公司，深圳5181 摘要：本文对提高超硬涂层的质量进行技术分析。采用真空镀膜新技术：孪生靶中频交流磁控溅射、偏压离子镀 和离子源是沉积优质膜的基础。为适应高速切削、干切削和难加工材料的切削，在TiAIN的基础上添加更多的合 金元素以提高涂层的抗氧化性、韧性和显微硬度．纳米超晶格复合膜和纳米晶一非晶结构的超硬复合膜的出现为设 计新的超硬涂层开拓了崭新的领域。完善的和谐的先进沉积工艺是最终获得优质超硬膜的技术保证。 关键词：真空镀膜 薄膜材料 超硬涂层 中图分类号；TB43：0484 0引言 在我国珠江三角洲地区，真空离子镀装饰膜产业非常兴旺，据不完全统计，深圳市就有真空 镀膜企业九百多家。三大产品：手机外壳、手表壳表带和眼镜架镀装饰膜，在深圳市镀膜的产品 占了世界市场份额的60％。70％。国际上著名的手机品牌摩托罗拉、诺基亚，手表王国瑞士高档手 表的镀膜，都纷纷到我国珠江三角洲寻求委托加：]二，大大推动了真空镀膜事业的发展。国外著名 品牌先进的产品技术标准及其例行试验方法指导镀膜产品的生产，有力地促进了我国真空镀膜技 术的进步，缩小了我国真空镀膜水平与国外先进水平的差距。另外，深圳市的光学镀膜产品如手 机视窗、高反膜、滤光片等；ITO透明导电膜、透明金刚石膜、低辐射(LOⅥE)玻璃膜、五金 洁具镀膜等生产水平和生产规模都走在全国的前列。 我国金属切削刀具和各种模具镀超硬涂层技术却很落后，与国外先进水平差距很大。我国汽 车工业引进的许多生产线和先进的加工中心，仍然使用原装的进口刀具，同类型进口刀具和国产 刀具价格相差8—10倍。由于国产刀具的质量不被接受，刀具落后的局面制约了我国加工业的发 展，其中镀超硬涂层的技术水平低占了不小的比率。刀具在加工业中虽占成本很小，但它的作用 却相当于老虎的牙齿，对加工产品的质量和生产效率起很重要的作用。我国的刀具涂层，还停留 在TiC、TiCN、TiN和TiAlN单相膜的水平上。怎样提高刀具涂层的质量，使它能适应高速切削， 干切削和难加工材料的切削等现代制造业对刀具的技术要求?笔都发表粗浅的看法，供国内内行 参考。 1、先进镀膜技术的应用 1．1电弧离子镀和磁控溅射 电弧离子镀和磁控溅射是两种应用广泛的镀膜技术，它们各具技术特色，并且现在都有长足 进步。电弧离子镀具有较宽的沉积压力范围，它的沉积速率快，具有较高的生产效率。由于它的 5I 第七届广东省真空学会学术研讨会论文集 离化率高，配合偏压电源的使用，可以获得附着强度高，致密的优质涂层。它的不足之处在于电 弧液滴喷溅，使沉积膜层表面粗糙，不适合制备界面要求精细的膜层。该技术初期使用的点状小 弧源，因其功率密度很高，喷溅液滴更严重，先进的镀膜机配置已渐少采用。平面大弧靶和园柱 形弧靶逐渐成为该方法的主要技术。 自从孪生靶的出现，配用中频交流溅射电源，它消除了磁控溅射的阳极消失效应，靶面打弧 和靶面“中毒”问题[1]，早先直流磁控溅射所遭遇的重大技术困难得以迎刃而解。从此磁控溅射技术 进入了新的时期，为超硬涂层的沉积提供了高效的工业化生产方法。采用孪生靶中频交流磁控溅 射可以获得致密光滑的膜层，膜层显微硬度高，附着强度好。中频溅射技术成熟后，沉积速率比 电弧方法成膜慢不了多少，并且膜厚的增长成线性增加，膜层的控制更精确，可控制和重现性都 很好。特别是沉积电阻率较高或绝缘膜时，具有不可替代的优越性。但是中频交流磁控溅射，对 设备和控制都要求很高。磁控靶的磁场设计，关系到靶运行时的等离子密度及其稳定性，关系到 电子能量的传递和靶材利用率的高低，是提高磁控靶工作效率的关键技术。优化设计的孪生靶， 如功率配置恰当，其溅射速率将是直流溅射的2—3倍。布置非平衡磁场的溅射靶，将原来约束 在靶面附近的等离子区扩展至200ram的范围，大部分工件的镀膜面浸没其中，对于离子镀极为