基于反相条纹投影技术测量大范围变化的面形研究.pdfVIP

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2018-01-12 发布于未知
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基于反相条纹投影技术测量大范围变化的面形研究.pdf

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第32卷增刊光学技术 V01．32 Supp[． 200 0PrrICAL 2006 6年8月 TECFLNIQUE August 文章编号：1002—1582(2006)S-0323．03 基于反相条纹投影技术测量大范围变化的面形’ 韩斌1，一，乔彦峰1，韩旭东1，于晓波1 (1．长春光学精密机械与物理研究所，长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：在较高精度面形测量的光学方法中，很多测最范围都受到光波波长的限制。简述了一种利用光栅投影系统来增强其垂直方向测量范围的新方法。通过投影仪来产生能够消除表面低频变化影响的变形光栅，测量该栅线经过被检面的变形图像，通过处理得到表面的高频信息，然后将高频和低频信息叠加得到表面轮廓图。通过实验模型的建立证明，该方法具有测量精度范围宽，能实时地得到表面轮廓图。关键词：变形光栅；反相条纹投影技术；表面轮廓中图分类号：TH706文献标识码：A Measurementof distortedsatface based large profile oninverse technue projected·fringeiq HAN Xiao-b01 Binl”，QIAO Yan—fen91，HANXu．(ton91，YU Instituteof Mechanicsand (1．ChangchunOptics，Fine Physics，Changchun130033，China) SchooloftheChinese of (2．Graduate AcademySciences，Beijing100039，China) ofmost methodswhichusedin surface Abstract：The are limitedthewave— ranges optical highprecisionpmfiling，areby of new based011 is can themeasurementin length technique system light．A fringeprojection proposed，whichenlarge range verticaldirection．Thedeformedwhichcandecreasethelow ofthesurface backto gratings frequencyimpact profile，isprojected thesamesurface．Thenthe is aCED and cameradealttO the