多光谱ZnS的研制研究.pdf

多光谱ZnS的研制 余怀之 刘建平 郑岳华 元 宇 贾景彬 (北京有色金属研究总院，北京，100088) 摘 要 Z.S是重要的长波红外窗口材料，本文描 力加热，内外表面由于存在巨大温差而出现的膨盼 述了用CVD方法制备ZnS的厚度均匀性，红外及可 压缩应力，窗口或头罩能经受热冲击而不破损;(3) 见光透过率，特别是多光谙ZnS的光学性能，并对 能抵抗雨水、灰尘的浸蚀;到目前，还没有一种红外材 、 城 实验结果进行了讨论. 料能完全满足上述三个方面的要求。相比较而言，在 比 伏 姜健词 窗口材料 红外 CVD工玄 多光谱 8-12p.的长波段,CVDZnS是较为理想的。因此 比 比 I CVDZnS是目前唯一使用在8-12pm的窗口或头罩 J 1 引 言 材料。 红外光学材料在军事和民用上都有着广泛的应 从表1中看出，能作为多光谱材料使用的有m- 用。是重要的红外材料之一 ZnS,ZnSe和金刚石.金刚石距窗口实用还有很长的 在 1-23p. 的红外波段，存在着 2个大气吸收 距离，而CVDZ.S。的力学性能较差，因此，能作多光 很小的所谓的大气窗口3-5p-和8-12pm,就目 谱窗口使用的就只有ZnS, 前所知，能工作在3-51m和8-12pm两个大气窗口 本文描述了多光谱ZnS的制备及所得的实验结 的光学材料种类很多，有卤素化合物、氧化物陶瓷、元 果，并对结果作了简单的讨论 素半导体和化合物半导体等。表1给出了一些红外光 2 实 验 学材料的透射波段.锗由于透射波段宽、色散小、机械 强度大、化学稳定性好、易于加工和易得到大尺寸，因 化学气相沉积装置为图1所示，At气通人熔化 此，目前是所有成像系统透镜和棱镜的主要材料。因 的高纯Zn坳锅中，携带Zn原子蒸汽进人沉积室，同 此，这众多的红外光学材料都是用于窗口和头罩。由 时高纯H,S气经过管道也进人到沉积室，沉积室温 此可见，满足窗口和头罩的使用要求是红外光学材 度控制在600-850℃，在这个温度下Zn蒸汽则和 料研制的主要内容. HsS进行反应，生成ZnS沉积在石墨沉积室内壁上， 表1各种红外光学材料的透射波段叫(波长单位: 反应生成物Hp和携带气体At及未能参加反应的 pm) HAS气被排出炉外，在排出的废气中含有有毒气体 Table1 Transmittancerangeofvariousinfrared H声。因此，排出的气体要经过一个H,S吸收装置，再 材料一。M1R一}材料*，波，一}材料 一}，，*‘ 排人大气，以防对大气造成污染. 石英 0.12-4.5 YpOs 0.25- 6 G .P 0.5-11 S13