双筒牵引复合型分子泵的研制研究.pdfVIP

双筒牵引复合型分子泵的研制 常学森，靳毅，罗宁 (成都南光机器有限公司，成都经济技术开发区星光西路115号，成都610100) 摘要：本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵，对分子 泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制 提高了国内分子泵制造的技术，为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。 关键词：双筒；牵引；分子泵；复合 1引言 的贡献。但随着真空技术的发展，世界主流 分子泵技术也不断更新，分子泵的性能与 自从1912年德国W．Gaede发明分子 国际各大厂商的产品性能之间出现了很大 泵以来，到今已快近一个世纪了。世界上 的差距，在抽速、压缩比和极限真空等指标 各主要真空厂家都在积极的开发和生产各 上都落后于世界主流产品。 种不同类型的分子泵，使分子泵的应用领 2．1当前国内主流分子泵存在的问题基 域不断扩大。在分子泵的抽气机理研究方 随着我们国家的半导体产业和太阳能 面也在逐渐完善和深入，有利的指导了新 光伏产业的发展，对复合分子泵的发展又 型分子泵的设计和开发，使分子泵的性能 提出了新的要求。由于这些产业的生产工 和质量得到了明显的提高。涡轮分子泵的 艺过程中存在大量的沉积物，这些沉积物 压缩比与涡轮叶片的级数有关，提高压缩 如果在泵内累积起来会很快使泵的性能下 比要增加叶片的级数。而牵引分子泵的压 降，甚至满足不了生产的需要。由于盘型分 缩比与抽气槽的形状有关，提高压缩比很 子泵的牵引定子是水平放置的，气体在流 容易。在尺寸相同的的情况下，牵引分子 动过程中的沉积物会大量沉积在表面，在 泵的抽速比涡轮分子泵低很多。为了使泵 严重的情况下甚至堵塞气体的通道，为此 在高压区域保持有较高的抽气性能，在原 我公司在大量调研国内外分子泵技术发展 有的涡轮分子泵的高压侧配置了螺旋槽似 状态的前提下，组织开发研制了多筒牵引 的牵引分子泵，将两种泵的抽气单元串联 的复合型分子泵。 组成一个整体，形成了一种宽域的复合分 2．2筒式牵引较盘式牵引的优势 子泵1¨。 筒式牵引泵及其与涡轮组合很多优 2研发背景介绍 点，比如牵引级抽气段折为三级，气体由外 当前国内复合分子泵的最具有代表性 向内依次通过螺旋槽压缩排气，这种设计 可大大减小泵的轴向尺寸。并且，牵引级的 的结构势北京中国科学院科学仪器厂的盘 抽气方向为轴向