工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用研究.pdfVIP

第十四层全国混嘈r集成电路掌术会议论文集 工序能力指数C腿评价 在混合集成电路生产线中的实践与应用 邓 洁 (中国电子科技集团公司第43研究所，合肥230022) 摘要：介绍工序能力指数基本概念，表述在混合集成电路生产线中实施CpK评价的实践和流 程，指出存在的问题，以及从工序能力分析的角度理解6O设计目标。 关键词；工序能力指数计算方法工艺参数采集结果分析 ThePracticand ofProcess ApplicationCapabilityIndex(CpK) EvaluationtoHICProductionLine DengJie ResearchInstituteofChinaElectronics (No．43 Corporation，Hefei230022)