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激光与光 电子学进展 1996年第 l0期 (总第 370期) 35 3．2 扫插 x 线显微镜 上述三种成像元件：波带片、斜入射镜和多层膜 扫描 X射线显微镜 容 易得到被测物体各 镜。用于硬X射线的则用非球面斜入射镜 。现 处定量 的物理量 ．而且利用两波长吸收差分法 在得到最小光束的 ．有美国研究组用波带片 ，在 研究特定元素的分布 ．利用光 电子和荧光标识 波长 3．6nm 的软 x射 线获 得 约 4Onot 的光 X射线进行 比学状态研究等，能获得分光及分 束 在硬 x射线波段 ，由于反射镜难 以加工 ， 析的图象 。其分辨率与激光束聚焦的焦斑大小 光束虽小 口径约为 1,um 相等 光源主要用同步辐射 ．近来也有采用激光 3．2．4样 品所处环境 等离子体 X射线作光源的例子 。图 7示 出用同 样品周围的环境要求，随所用的软 x射线 步辐射作光源，波带片扫描软 x射线显微镜 “ 和要取得的信号而不同 要得到光 电子或俄歇 与斜入射镜扫描 荧光标识 X射线显微镜”的 电子信号．必须在高真空中进行。要获得软 x 光学系统 下面简要介绍光学系统各部分 的细 射线的透射信号时，样品周围数毫米厚的氛 围 节 多用对软 x射线吸收少 的氦气 在硬X射线波 32．1分 光器 段波长短于～0．2nm时 ．也可在大气中获取信 扫描软 x射线显微镜主要用作分析 ，因而 号 。 几乎所有的装置都装有分光器 分光元件主要 3，2 5探 驯器 是 ：软 x射线波段用球面或轮胎 面反射光栅 ． 所用探测器随着探测信号以及应用 目的的 硬 x射线波段用两片硅单 晶平行平板 为使分 不同而有大的变化 ，详情请参考表 2。特别要注 光后各波长按一定方 向出射 ．也有在分光器 中 意 的是 ，应用 的探测器是否放在真空中， 及是 附加一些反射镜或晶板 的。 否进行脉冲探测。一般说来．希望使用可作能谱 3．2．2针 孔 分析的探测器 。 形成最终的微小会聚光束时，在光束中将 4．结束语 光源位置上放一针 孔 ，就可形成新 的 x射线 x射线显微镜 的光学系统 及显微镜 的利 源 根据针孔的直径和聚柬元件的缩小率就可 用方式 ．除上述外还有许多。分辨率方面．每数 决定最终的光束口径 。软 x射线用的针孔可用 年就有较大的改善，软 x射线显微镜 已到了实 市售金属板针孔 硬 x射线会透过金属基板 ， 用化阶段。如前所述，X射线显微镜的观察对象 因而必须特别制作针孔 一般用钼或钽作为硬 并不限于生物样品，已引起人们对本领域 的广 x射线针孔的基板 泛关注 ．笔者期望有更多的^加入这一研究行 3．2．3微小聚柬元件 列 。 在二极管泵浦 固体激光器 的多种用途 中 重要意义的应用实例 ：激光雷达和光学卫星通 通信技术占有持别的份额 激光二极管首先具 信 这两个领域采用纵向二投管泵浦激光器是 有与玻璃纤维耦合的技术．。而固体激光器 由于 因为这类激光器有极佳的高频稳定性和小的线 其较好的射束质量主要用于以 自由空间作传输 宽 。 36