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陶瓷的加工研磨 电极制备
LOGO Guilin University of Technology Microstructure and Properties of Functional Ceramics 5.5陶瓷的加工研磨 5.6电极制备 5 .6.1烧渗电极 5 .6.2化学镀镍电极 5.6.3其他上电极工艺 Contents P255 5.5陶瓷的加工研磨 烧结后的陶瓷毛坯,表面不甚平整,尺寸也不一定符合要求,所以应研磨加工满足要求。 平面研磨一般使用马达带动铸铁磨盘,水平安放,转速一般小于500r/rnin,细磨转速为300 r/min。研磨的同时,不断送下磨砂浆料,如采用填有磨料的磨盘,则用水流即可:粗磨时磨料粒度为120--150um或150一180um,磨去的层厚为0.2mm。精磨用粒度为20一40um的磨料,磨去层厚约0.1mm,最后用20um的磨料,磨去0.05mm。从这里我们可以看出磨料的尺寸大小对研磨起着重要作用。 工业上常用颗粒号表示磨料粒径磨料按粒度大小编号见表5-14 常用磨料 一般常用绿色或黑色金刚砂作磨料。也有用电熔刚玉砂或浮石粉(一种多孔结构火成岩)为磨料。被磨试样可用火漆乳胶在胶模上进行研磨。磨料愈细,磨面愈光洁,图5-50示出细磨料研磨后的粗糙度。 图5-50示出细磨料研磨后的粗糙度。 高精度磨光,则要进行抛光处理 可用抛光粉〔1一3 um或0.03--0.3um )、红粉或钻石膏,在蜡模(高精度抛光)、柏油模(精密抛光)、绒模(简易抛光)、毛毡(低级抛光)中抛光,也可用微细粉如CeO2 , ZrO2 , TiO2、SiO2、 Cr2O3、Fe3O4 ,Al2O3进行抛光。应选择硬度和被抛物相匹配的抛光粉,可使抛光面上的划痕减少。不适当的抛光,光面上当时不显示划痕,但热腐蚀后划痕的隐痕就会暴露。抛光时间几小时到几天,压力以1--5kPa为宜。 前沿技术 一般表面研磨加工,对于脆性陶瓷损伤较厉害。最近出现Abrasive jet machining采用极细磨料粉,对被加工件进行高速冲击而达到研磨作用。例如Wakuda用显微冲击器及加压氮气,把15--25 um粒级的碳化硅粉,通过喷嘴,喷向刚玉瓷件。发现被加工面的粗糙度和普通磨面对比,明显平整,被磨片强度也高,用X射线应力分析可测定内应力,结果见表5-15及图5-51。 从结果可见普通研磨导致整个晶粒脱落,使粗糙度大,而喷射研磨则属于柔和研磨,损伤小,磨后表面平整,强度也较高。 BookP258 表面涂层经过高温煅烧使涂层渗透到瓷体 镍盐溶液在强还原剂(如次磷酸盐)的作用下,并在具有催化性质的陶瓷表面上,使Nl2+离子还原为金属镍,而次磷酸盐分解出磷,最后得到沉积在瓷面上的Ni-P合金薄层。 烧渗电极及化学镀镍工艺,为常用的主要上电极工艺,其他还有火焰喷铝、喷铜、喷锌、真空溅射、真空蒸发等。 5.6 电极制备 烧渗电极 化学镀镍电极 其他上电极工艺 5.6电极制备 用陶瓷制作电子元件,必须有电极,常常把银电极浆料,涂布于试片的上下表面,再经高温(500~600摄氏度))烧渗工艺,在瓷片上形成银白色导电银层,以供通电之用二施加电极的方法有多种:烧银电极、化学镀镍电极、喷铝电极、喷铜电极、溅射银电极、蒸发金属电极等。 5.6.1烧渗电极 在瓷体表面可烧渗一层金属银作为电极,银的导电能力很强,抗氧化性好,可焊引线。银层还有与瓷体结合佳、热稳定性良好、烧渗工艺简单等优点。其缺点为在高温交流电场作用下,银离子易于扩散,逐步进人瓷体,使介电性劣化。 烧银分4个阶段: 分解 Ag2O、AgCO3分解为Ag,升温速度为200~300℃/h 烧渗 降温 熔剂呈玻璃态,渗入瓷体,升温速度为300 ℃/h ,表层银粒微晶烧结成导电层,最高温保温10~20 min 只要瓷体内不产生大的内应力或碎裂,可较快冷炉降温,降温速度为300~400 ℃/h Content Title 排黏合剂 约350摄氏度,使黏合剂挥发、分解,升温速度:i150~200`C /h 另外 为了增加瓷体和银层间结合强度,瓷件应经充分清洗:超声清洗、水煮清洗或400~600`C锻烧。 5.6.2化学镀镍电极 镍盐溶液在强还原剂(如次磷酸盐)的作用下,并在具有催化性质的陶瓷表面上,使Nl2+离子还原为金属镍,而次磷酸盐分解出磷,最后得到沉积在瓷面上的Ni-P合金薄层。 反应式: 由于Ni-P合金具有催化活性,构成自催化镀,使镀镍反应不断进行。 化学镀镍工艺流程 去油污,片子浸在有洗涤剂的水中.超声清洗10min,然后水洗 在敏化液中浸10min,水清洗(敏化液:每升含5g氯化亚锡,25g盐酸) 样片在活化液中放置5min,取出水清洗(活化液:每升含0.05g氯化钯,0.25g盐酸)
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