溅射功率对PET基表面沉积纳米铜膜特性影响研究.pdf

Vo1．41NO．2 化 工 新 型 材 料 第41卷第 2期 · 112 · NEW CHEMICALMATERIALS 2013年 2月 溅射功率对 PET基表面沉积纳米铜膜特性影响 孟灵灵 黄新民 魏取福 (1．盐城．Z-学院纺织服装学院，盐城 224051；2．江南大学生态纺织教育部重点实验室，无锡 214122) 摘 要 室温条件下采用射频磁控溅射法在涤纶(PET)平纹机织物表面沉积纳米Cu薄膜，借助原子力显微镜 (AFM)分析溅射功率的变化对铜膜表面形貌、粒径的影响；同时研究不同溅射功率条件下制备的沉积纳米铜织物透光性 能、导电性能及界面结合性能。实验结果表明，随着溅射功率增加，纳米铜膜颗粒大小、表面粗糙度随之减小，铜膜的均匀 性、致密性先提高后下降；经Cu镀层处理的涤纶平纹织物对紫外光和可见光透射率明显低于原样，溅射功率提高能使样 品屏蔽紫外线和可见光效果变好，但功率提高到 120W 后，屏蔽效果增加不明显；铜膜方阻随溅射功率提高而减小，导电 性能增强，而铜膜与基材的剥离强力先增加后减少。 关键词 射频磁控溅射，纳米铜膜，原子力显微镜，透光性，导电性，界面性能 Influenceofsputteringpoweron thepropertiesofCuthinfilms depositedon thesurfaceofpolyesterplain fabric MengLingling， HuangXinmin WeiQufu (1．CollegeofTextile＆ Clothing，YanchengInstituteofTechnology，Yancheng224051； 2．KeyLaboratoryofEco—Textile，MinistryofEducation，JiangnanUniversity，Wuxi214122) Abstract Thecopperthinfilmsofnano-structuredwerepreparedonthesurfaceofpolyesterplainweavefabricby RF(radiofrequency)magnetronsputteringatroom temperature，TheeffectofsputteringpowerOilthemorphologyandpar— ticlediametersofthefilm wascharacterizedbyAFM (atomicforcemicroscope)．Thetransmissionproperties，electrical propertiesandinterfacia1propertiesofthefabricswithCufilmspreparedunderdifferentsputteringpowerswereanalyzed． Resultsshowedthatparticlesizesandsurfaceroughnessofthefilm weredecreasedwiththeincreaseofsputteringpower， theuniformityandcompactnessofthefilm werefirstimprovedandthendecreased．Theshieldingeffectivenessofsamples hadnoevidentincreaseassputteringpowerwasrisedto120w．sheetresistanceofthefilmswasminishedandelectrical propertywasenhanced，butpeelbondstrengthofthefilm andthesubstrateswerefirstincreasedandthendecreased． Keywords RFmagnetronsputtering，copperfilm ofnano-structured，AFM ，opti