次毫克法碼導引與應用研究.pdfVIP

次毫克法碣i尊引舆虑用 壁壹隘1木基空震2适i勤墼3 1工棠技衍研究院量测技衍骚展中心副工程嘟 2工檠技钭彳研究院量测技衍骚展中心副研究具 3工紫技衍研究院量测技衍致展中心工程断 车E-maih tcf@itri．org．tw 摘要：现今奈米技衍的研究袋展以及相网崖品的微小化同世，其材料硬度、拉伸强度等横 械性冒须缝遇测弑以碓保废品的可信度。由於遣些测弑落在微小力量筢囤，因此相嗣测弑 系统须追溯至微小耍量，即在lmg以下。本文主要内容保探射lmg一0．1mg法码组的尊引 模式，艘述如何由l mg，0．1mg之法码组，蓝靛明如何逗 mg的毕檩法码尊引出0．5mg，0．2 用孩法码组柬校正微奈米横械性耍量测系统，及介绍孩系统在市埸上的臆用。 网键字：尊引、追溯、微奈米楼械性耍量测系统、量测不碓定度 1．前言 近年柬奈米技衍的蓬勃霰展，使奈米材料楼械性贾的量测更是目前并多圆内外研究人 员投入研究的方向，因此量测中心建立一套『微奈米横械性耍量测系统J，其稳微小力量 量测的棵辈。此微小力量量测的追溯源舄微小夤量，而夤量最小的檩辈罩位鹈lmg，故特 别打裂了0．5mg，0．2mg，0．1 要求的法碣)，鹅使微奈米横械性耍量测系统之微小力量能追溯至SI罩位，故使用兹法码 组造行耍量尊引以定羲其值。 本文中首先介绍次毫克法码纽的尊引模式及估算方法，接著介绍其虑用於r微奈米横 mN一20mN， 械性夤量测系统J的追溯方式，而兹系统微小力量所提供的服耪麓圉耦：0．1 N—O．1 组合榇翠不碓定度捣5．0×10～：l mN，组合檫辈不碴定度捣2．0×10～；裼氏 模敦服耪花圈，相封掳充不碓定度羯9．1X10～。 2．次毫克法礴组尊引之衡量方法 2．1 衡量彀补 次毫克法码组尊引之衡量设计是将lmg，0．5 mg木，0．2 mg，0．1 mg，0．5 mg，0．2mg幸，0．1 mg*鹑一整髓法码纽封虑一徊参考法碣迄行多次比封衡量。一整髓的法码组捣七颗法碣 (拓7)，衡量设打以lmg捣参考法码，探用10，5，5，2，2，l，l的衡量毅针，如表1所示。追 行10次比封衡量，得到lO佃觏察值Yl，Y2，…％，n=10，即法码比封差值 z坳f2tmA一朋口Jf。 每次比封衡量探用ABBA捣一次衡量循瑗，本次量测造行六次循瑗得到一组差值，令 天平魂值药，，剐六次衡量循瑕之天平藕值差址^日捣 址船 = l一6 。∑汹 ／，●●●一／ 57 因空氟浮力的影窑甚小，故忽略空氟浮力修正，刖△，^口=锄。 2．2 衡量模式之距陴迢算 令靓测值Yj=锄f，七倜法码黉量捣届，厦，…孱，8JM最4、平方法参考NBST．N．952 之距障模式分别估算出倜剧法码黉量差值的估卦值x菊衡量迥程中置换法码的位置及次序 距障，其距障打算方式如下： Yl=XIl届+五2展+…+．■t展+Pl Y2=X21届+工22屈+…+工2t展+P2 》n=xn|BI+Xn2jB2+…+x嘘pk+en 其中ei捣残差，ei=Yf一允，夕f稳Yf之估计值。上列方程式以距障表示捣 Y=x8十e (2) 则X 7’P 7’xfl=X丁Y+X (3)