静电防护技术论文.docVIP

目　录 摘　要 1 第1章　绪　论 2 1.1　课题的来源及应用 2 1.2　静电防护研究的进展 3 1.3　本课题的研究工作 5 第2章　静电产生的原理及对电子产品的危害 7 2.1　静电的产生 7 2.2　静电放电对电子产品的危害 8 2.3　电子元器件静电放电损伤失效机理 10 2.4　静电敏感器件（ESDS）的分类 12 2.5　人体静电 13 第3章　数字机顶盒生产中的静电防护硬件系统 15 3.1　数字机顶盒静电防护的基本原则 15 3.2　生产车间环境ESD的防护 15 3.3　防静电工作区 16 3.4　人体静电防护 16 第4章　数字机顶盒生产中静电防护工艺管理体系 19 4.1　防静电工作区人员的控制要求 19 4.2　静电敏感器件的管理及过程控制 19 4.3　器材采购及库存的防静电控制 20 总　结 21 致　谢 22 参考文献 23摘　要 随着科学技术的飞速发展，微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电造成的危害越来越深刻。对电子产品生产企业而言，静电防护系统是企业生产系统的基础性工程，它是产品高可靠性的保障。作为生产管理者和工程技术人员，不仅要把静电防护设计到产品上，还必须在生产过程中建立一套完善并切实可行的静电防护系统。通过采取有效的的工艺手段，控制和防止静电危害，最大限度的减少静电造成的损失。 本课题以有线电视数字机顶盒生产的静电防护工程实践为例，从技术和工艺的角度，系统分析了静电产生的原理、静电对电子工业的危害形式、人体静电和静电防护的研究进展，较详细的研究了有线电视数字机顶盒生产的工艺流程和静电防护需求，在设计环节就提出了基于有线电视数字机顶盒生产过程的ESD防护系统。通过大量的模型实验和现场测试，就静电敏感器件的分类及处理方法、生产车间环境ESD的防护、人体静电防护、建立防静电工作区（EPA)、静电防护接地系统、防静电材料和器具选用和设备仪器的防静电措施进行了研究。形成了基于有线电视数字机顶盒生产过程的静电防护的硬件系统和工艺管理技术文件。 关键词　静电；防静电工作区；接地；离子中和第1章　绪　论 1.1　课题的来源及应用 随着科学技术的飞速发展，微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂，对静电放电造成的危害认识越来越深刻。对电子产品生产企业而言，静电防护系统是企业生产系统的基础性工程，它是产品高可靠性的保障。作为生产管理者和工程技术人员，不仅要把静电防护设计到产品上，还必须在生产过程中建立一套完善并切实可行的静电防护系统。 本论文研究的课题即来源于某有线电视数字机顶盒整机生产的静电防护需要，主要从技术和工艺的角度，系统研究静电的产生原理，并通过一定的实验过程，建立适于有线数字机顶盒生产的静电防护体系，最大程度减少生产过程中因静电造成的损坏，确保产品质量。 1.1.1　静电防护概述 静电是一种处于相对稳定状态的电荷。静电可由物质的接触与分离、静电感介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。 静电防护是指为了避免或减少由于静电放电对静电敏感器件造成的损害，在生产过程中有针对性地对静电敏感器件实施保护的措施。 随着科学技术的不断发展及微电子技术的迅猛进步，微电子器件（即静电敏感元器件）在电子产品中获得广泛运用，鉴于微电子器件对静电的敏感性，静电放电是电子产品制造业的不可忽视一大公害，并随技术及产品的发展而愈加普遍。电子产品设计的小型化、高集成化，相应的加工技术不断发展，加工对象日趋微、细、精、薄；静电放电可以造成电子器件的物理损坏，更为普遍的现象是造成器件的损伤，而不是直接损坏。被静电损伤的器件并不立即出现故障，而是性能有轻微的衰弱或改变，但是以后抵抗静电和其他意外事件的能力大大降低，使产品可靠性出现问题。为确保微电子器件在生产、安装和整机工作时的可靠性，必须在各个环节对其采取静电防护技术措施，以保证产品的高可靠性。 1.1.2　静电防护的主要技术要求 由上（1.1.1）论述可知，静电源于各种活动的物理过程之中且不可避免，只要静电敏感器件存在，静电的防护也就不处不在，并对静电的防护提出了严格的技术要求： 抑制静电的产生。要求通过控制静电敏感器件的储运、操作的环境，控制人体带电、采用防静电材料的器材和操作工艺，尽量减少静电产生的可能或控制静电产生的量。 控制静电荷的积累，减少和消除静电荷。静电的产生是一定会发生的，要求采取一些措施尽快减少和消除静电荷，以控制静电荷的积累，降低静电电位。 减少静电危害，采取一些技术和工艺手段，使静电放电造成对静电敏感器件的损害要尽量的减少。 建立静电防护管理系统。要求通过对操作和管理人员的培训，使静电防护除了硬件的保障之外，更要从工艺管理的角度去保证静电器件在生产的各环节都处于保护之下。 1.2　静电防护研究的进展 静电防护的研究是从静电学开始的，