六自由度并联微动机器人运动学的有限元研讨.pdfVIP

制 造 习匕自动 化 六自由度并联微动机器人运动学的有限元研究 王纪武 陈恳 李嘉 仲崇刚 (油华大学栩密仪器与机械学系，北京 100094) 摘 要 为实现并联微动机器人微米2纳米级精度的定位和操作，斋要能够准确确定微动平台的空间位姿和 驱动位移。传统的运动学理论，由于无法考虑机构弹性变形的影响，使得计算结果与实际情况存在一定的差 距。本文利用三维有限元技术，采用与实际加载情况一致的边界条件，对以柔性铰作为传动副的PSS型微动 平台样机进行运动学正、逆解的分析，并以一个任选的空间位姿为算例，将有限元的计算结果与传统理论的 分析结果进行了比较，发现柔性铰横向弹性变形是导致二者差别的直接原因. 关镇词 并联微动机器人:有限元:运动学;柔性饺 0引言 操作。 微动机器人，作为微机器人系统的重要 1、基本理论 分支，由于其精细操作和加工的特点，在生 1.1传统运动学理论分析 物 「程、微电子工程、超精密机械、微米/ PSS副 Stewart