利用辐射计测量半透薄膜的光学特性研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：093425 利用辐射计测量半透薄膜的光学特性 鞠生宏 徐向华 梁新刚 （清华大学航天航空学院传热与能源利用教育部重点实验室 北京 100084） （Tel ：（10806；Email ：jsh08@mails.tsinghua.edu.cn ） 摘要：随着光电技术的发展，各种光学半透明薄膜在实际中得到了广泛应用。光学薄膜的使用必须建 立在光学特性（如透射率、反射率和吸收率）已知的基础之上。一般而言，对于半透薄膜透射率的测 量比较简单，而对于反射率和吸收率的测量往往比较复杂和棘手。本文在总结前人研究薄膜光学特性 测量经验的基础之上，通过分析光路在单层、双层以及多层薄膜间的传递过程，设计了一种利用辐射 计有效测量半透薄膜光学特性的方法，测量简便、快速，可直接得到测量波段内薄膜的半球光学特性 参数。在待测薄膜光学特性比较极端（透射率、反射率和吸收率其中之一很大或者很小）时，该方法 仍然能够进行测量，并且透射率和反射率测量误差一般不超过6%。 关键词：辐射计；半透薄膜；光学特性 1.引言 随着光电技术的发展，太阳能选择性吸收膜、金刚石薄膜等各种光学半透明薄膜在 实际中得到了广泛应用[1]。光学薄膜的使用必须建立在光学特性已知的基础之上。薄膜 的光学特性一般包括透射率τ、反射率ρ和吸收率α。一般而言，对于半透薄膜透射率 的测量比较简单，而对于反射率和吸收率的测量往往比较复杂和棘手。尽管已经有一些 直接测量反射率的方法[2-3]，但是需要注意反射率与薄膜的表面状况有关，表面状况的 复杂性使得反射的方向分布难以确定，因此半球反射率很难测定，即使测得其误差也很 大。而对于吸收率的测量更是困难，到目前为止，仍然没有能够直接测量的有效方法。 实际测量过程中往往是通过先行测量薄膜的透射率和反射率后，间接求得吸收率。 本文在总结前人研究工作的基础上，通过分析光路在单层、双层以及多层薄膜间的 传递过程，设计了一种利用辐射计测量薄膜光学特性的简便方法，并测量了某种探测气 球薄膜在太阳光垂直入射时的半球光学特性参数。测量结果表明在待测薄膜光学特性比 较极端（透射率、反射率和吸收率其中之一很大或者很小）时，该方法仍然能够进行测 量，在很大程度上避免了因直接测量反射率和吸收率带来的误差。 2.实验测量原理 2.1 测量模型的建立 首先给出单层薄膜的光学特性定义，如图1 所示，假设入射光束强度大小为 1，入 射角为θ，光束会在薄膜的上下表面经过多次反射和折射，将所有从薄膜上表面射出的 光的强度大小定义为反射率ρ，所有从下表面射出的光的强度大小定义为透射率τ，根 [4] 据能量守恒定律，则吸收率α定义为 1-ρ- τ ，其中ρ、τ、α均与入射角θ一一对 应。本文中所测量的光学特性参数均对应于垂直入射的情况，即θ=0。有了上述薄膜光 学特性定义后，我们考虑如图2 所示的双层薄膜模型。对于待测量的半透明薄膜 1，假 设其透射率为τ ，反射率为ρ ，吸收率为α 。在薄膜的下表面叠加一层光学特性已知 1 1 1 的薄膜2，其透射率、反射率和吸收率已知，分别为τ 、ρ、α。薄膜的厚度约为0.05mm， 2 2 2 远大于光波的波长，因此测量过程中不需要考虑光的干涉效应。假设太阳光垂直入射薄 膜表面，入射光大小为 1，双层薄膜相互平行，忽略空气层对光线的衰减，考虑到太阳 光在双层薄膜间的多次反射、吸收以及透射，追踪光束在双层薄膜间的传播过程，可以 得到如图2 所示的结果。 图1 半透明薄膜光学特性定义 图2 双层薄膜模型 观察发现，每层薄膜的透射、反射和吸收部分均为或包含等比数列，对于反射和透