利用计算全息图检测非球面研究.pdfVIP

一．!竺!兰堂堂塑茎垫查塑墨受塑垒苎叁 一 利用计算全息图检测非球面 卢振武 刘华 李凤有 孙强 (申科院长春光机所应用光学国家重点实验室长春 130022) 摘要：文中主要介绍了利用曲面计算全息图进行非珠面检测的方法．分析了曲面 计算全息图的衍射特性，给出了曲面计算全息图与传统检测方法相结合检测凹非球面和 凸非球面的原理及特点，并进行了具体设计．利用激光直接写入设备，在曲面基底上制 作出了计算全息图，并对金刚石车床车削的凸面非球面进行了检测．介绍了凸非球面中 心部位检测和消除调节误差的方法． 关键词：激光直写：非球面检测；计算；全息图 1．引言 随着光学加工和检测技术的不断发展，光学系统中采用非球面愈来愈普遍。无论是 天文研究，还是在军事及航天领域中，越来越多地需要反射光学系统。而这些光学系统 一般都需要使用非球面镜。高精度的非球面制作需要高精度的检测方法。对特殊的二次 曲面如抛物面、双曲面，可采用无像差点法检验【l】。然而这种方法需要大口径的辅助镜 面，尤其是检测凸非球面、辅助镜面的口径往往是待测镜面的几倍。对不具有无像差点 对的非球面可采用零检验方法【21。目前零检验方法中的补偿器一般都采用折射式，不仅 制作精度要求很高，在装调过程中相对位置也要求非常精确，稍有偏差，就会对检测结 果造成很大影响。Hubble望远镜就是因为检测时补偿镜的位置有误差，导致主镜的二 次项系数有误以致造成巨大损失。凸非球面的口径较大时，一般需要采用被检的方法， 由于检测时光在凸非球面的背面入射到非球面上，因此，除需制作零透镜之外，还要求 制作非球面的材料均匀性特别好，非球面的另一个表面也要加工到非常高的精度，这无 疑增加了费用和制作难度。利用计算全息图(CGH)检测非球面，可以说是非球面检 测方法的一个重大突破【3~4】。但由于一般都是把计算全息图制作在平面基底上形成单独 的检测元件，计算全息图的特征尺寸较小，计算全息图的制作精度成为限制该方法应用 的主要瓶颈。若把计算全息图制作在透镜的曲面基底上，与传统的补偿法相结合，或与 传统的样板法相结合，可以大大降低了对全息图的制作要求p川J。 本文介绍了曲面CGH与传统的补偿法或样板法相结合，检测凹非球面以及凸非球 面的原理和方法。设计了两套检测非球面的干涉仪分别用来检测凹非球面和凸非球面， 并给出了凸面非球面的实际检测结果。实验过程中通过两步检测法解决了中心无法检测 的问题，实现了全口径检测；并通过旋转检测法消除了调整误差，提高了检测精度。 2006年光学测量技术讲座及研讨会文集 2．平面全息法检测非球面 全息法就是将全息图放置在干涉仪观察臂的适当位置，’通过波前再现和空间滤波， 获得参考波与检测波所形成的干涉图来检测非球面。根据全息图制作方法的不同可分为 ’ 光学全息法和计算全息法。 2．1光学全息法 A．Haines于1966 为了克服补偿法需要高精度补偿器的缺点，B．P-Hildebrand和k 年提出用光学全息法来检验非球面。光学全息法检测凸非球面的光学原理如图l所示。 反射镜 件 图1光学全息法检测非球面的光学原理示意图 反射镜 件 图2计算全息法检测凸非球面的光学原理示意图 采用光学全息法检测非球面时，必须先有一个与待测非球面相对应的参考非球面， 将该非球面置于干涉仪检测臂中，在干涉仪观察臂适当位置放一全息干板，通过适当的 光学调整、曝光和显影，制备出一个全息图。将该全息图重新精确地放回到其原来曝光 时所在的位置上，将待测非球面元件放入干涉仪检验臂种，通过波前再现和空间滤波， 获得参考波与检测波所形成的干涉图。由此干涉图来确定被检测非