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涡流式传感器是利用金属导体在交流磁场中的电涡流效应。若一金属板置于一只线圈的附近,它们之间相互的间距为δ,当线圈输入一交变电流i 时,便产生交变磁通量Φ,金属板在此交变磁场中会产生感应电流i1, i1在金属体内是闭合的,所以称之为电涡流或涡流。涡流的大小与金属板的电阻率ρ、磁导率μ、厚度h、金属板与线圈的距离δ、激励电流角频率ω等参数有关。若固定某些参数,就可根据涡流的变化测量另一个参数。 高频(lMHz)激励电流产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。与此同时,该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈,引起线圈自感L或阻抗ZL的变化。线圈自感L或阻抗ZL的变化与距离该金属板的电阻率ρ、磁导率μ、激励电流i及角频率ω等有关,若只改变距离δ而保持其它参数不变,则可将位移的变化转换为线圈自感的变化,通过测量电路转换为电压输出。 高频反射式涡流传感器多用于位移测量。? 发射线圈L1和接收线圈L2分置于被测金属板的上下方。由于低频磁场集肤效应小,渗透深,当低频(音频范围)电压u1加到线圈L1的两端后,所产生磁力线的一部分透过金属板,使线圈L2产生感应电动势u2。但由于涡流消耗部分磁场能量,使感应电动势u2减少,当金属板越厚时,损耗的能量越大,输出电动势u2越小。因此,u2的大小与金属板的厚度及材料的性质有关.试验表明u2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,因此,若金属板材料的性质一定,则利用u2的变化即可测厚度。 补充: 电感式传感器的应用 一、位移测量 其他电感测微头 模拟式及数字式电感测微仪 轴向式电感测微器的内部结构 1—引线电缆 2—固定磁筒 3—衔铁 4—线圈 5—测力弹簧 6—防转销 7—钢球导轨(直线轴承) 8—测杆 9—密封套 10—测端 11—被测工件 12—基准面 二、电感式滚柱直径分选装置 图3-14 滚柱直径分选装置 1—气缸 2—活塞 3—推杆 4—被测滚柱 5—落料管6—电感测微器 7—钨钢测头 8—限位挡板 9—电磁翻板 10—容器(料斗) 二、电感式滚柱直径分选装置 测微仪 电感式滚柱直径分选装置(外形) 电感式滚柱直径分选装置外形 落料振动台 电感式滚柱直径分选装置(机械结构放大) 汽缸 机械及气动元件 电感测微器 三、电感传感器在仿形机床中的应用 1—标准靠模样板 2—测端(靠模轮) 3—电感测微器 4—铣刀龙门框架 5—立柱 6—伺服电动机 7—铣刀 8—毛坯 仿形铣床外形 仿形机床采用 闭环工作方式 仿形车床原理 四、电感式不圆度计原理 该圆度计采用旁向式电感测微头 电感式不圆度测试系统 旁向式电感测微头 电感式不圆度测量系统外形(参考洛阳汇智测控技术有限公司资料) 测量头 不圆度测量打印 电感式轮廓仪 旁向式电感 测微头 五、压力测量 1—压力输入接头 2—波纹膜盒 3—电缆 4—印制线路板 5—差动线圈 6—衔铁 7—电源变压器 8—罩壳 9—指示灯 10—密封隔板 11—安装底座 压力测量用的膜盒 膜盒由两片波纹膜片焊接而成。所谓波纹膜片是一种压有同心波纹的圆形薄膜。当膜片四周固定,两侧面存在压差时,膜片将弯向压力低的一侧,因此能够将压力变换为直线位移。 六、电感传感器在粗糙度测量中的应用 ——手持式粗糙度仪 ?触针: 金刚石圆锥;?针尖圆弧半径:5μm;?可存储500个粗糙度参数值及4组轮廓数据;?可进行粗糙度参数的打印;?可对外圆、内孔、轴肩、圆锥面等各种复杂表面进行测试; 粗糙度仪外形 休 息 一 下 电感式接近传感器 电感式接近传感器应用举例 1、生产中测量产品的长度 每个脉冲对应的长度: 被测物总长度: 2、生产线工件的计数 3、机械手的限位 4、生产工件加工定位 5、时序控制 动画按扭 轴向式电感 测微器的外形 航空插头 红宝石测头 圆柱滚子 滑道 分选仓位 轴承滚子外形 (参考中原量仪股份有限公司资料) 滑道 11个分选仓位 (参考无锡市通达滚子有限公司资料) 废料仓 控制键盘 直径测微装置 长度测微装置 滑道 汽缸 气水分离器 (供气三联件) 储气罐 导气管 气压表 (0.4MPa左右) 仿形头 主轴 旋转盘 * 6.3 电涡流式传感器 6.3.1 电涡流式传感器的基本原理 演示实验 6.3.2 电涡流传感器的等效电路 把被测导体上形成的电涡流等效成一个短路环中的电流,短路环可以认为是一匝
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