传感器及其应用技术第六章.pptVIP

第六章 电容式传感器 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 第二节 电容式传感器的等效电路 第三节 电容式传感器的测量电路 第四节 电容式传感器应和举例 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 一、基本工作原理 电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。多数场合下，电容是由两个金属平行板组成并且以空气为介质，如图6-1所示。 由两个平行板组成的电容器的电容量为 式中：ε——电容极板间介质的介电常数，对于真空； A——两平行板所覆盖的面积； d——两平行板之间的距离； C——电容量。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 当被测参数使得式（6-1）中的A、d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。因此，电容量变化的大小与被测参数的大小成比例。在实际使用中，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。改变平行板间距d的传感器可以测量微米量级的位移，而改变面积A的传感器只适用于测量厘米量级的位移。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 二、变极距型电容式传感器 由式（6-1）可知，电容量C与极板距离d不是线性关系，而是如图6-2所示的曲线关系。若电容器极板距离由初始值d0缩小△d，极板距离分别为d0和d0—△d，其电容量分别为C0和C1，即 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 当 ，则式（6-3）可以简化为 这时C1与△d近似呈线性关系，所以改变极板距离的电容式传感器往往是设计成△d在极小的范围内变化。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 另外，由图6-2可以看出，当较小时，对于同样的变化所引起的电容变化量可以增大，从而使传感器的灵敏度提高，但过小时，容易引起电容器击穿。改善击穿条件的办法是在极板间置云母片，如图6-3所示。此时电容变为 式中：εg——云母的相对介电系数， εg=7； ε0——空气的介电系数， εg=1； dg——云母片的厚度； d0——空气隙厚度。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 三、变极板面积型电容式传感器 图6-5是一只电容式角位移传感器的原理图。当动极有一个角位移时，与定极板的遮盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时，则 式中：ε1——介电常数。 当θ≠0时，则 （6-7） 可以看出，这种形式的传感器电容量C与角位移θ是成线性关系的。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 图6-6为圆柱式电容式位移传感器。在初始的位置（即 a=0）时，动、定极板相互覆盖，此时电容量为 式中：l、D0和D1的单位为cm，C0的单位为pF。 当动极板发生位移a后，其电容量为 （6-9） 即C与a基本上成线性关系。采用圆柱形电容器的原因，主要是考虑到动极板稍作径向移动时，不影响电容器的输出特性。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 四、变介质型电容式传感器 图6-7为一种改变工作介质的电容式传感器，其电容量为 式中： b——极板宽度。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 设在电极中无ε2介质时的电容量为C0，即 把CA、CB和C0的表达式代入式（6-10），可得 式（6-13）表明，电容量C与位移a成线性关系。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 五、电容式位移传感器的结构形式 电容式位移传感器的基本结构形式，按照将机械位移转变为电容变化的基本原理，通常把它们分为面积变化型、极距变化型和介质变化型三类。这三种类型又可按位移的形式分为线位移和角位移两种。每一种又依据传感器的形状分成平板型和圆筒型两种。电容式传感器也还有其他形状，但一般很少见。注意，圆筒式传感器不能用作改变极距的位移传感器。 一般来说，差动式要比单组式的传感器好。差动式传感器不但灵敏度高而且线性范围大，并且有较高的稳定性。 绝大多数电容式传感器可制成一极多板的形式。几层重叠板组成的多片型电容传感器具有类似的单片电容器的（n-1）倍电容量。多片型相当于一个大面积的单片电容传感器，但是它能缩小尺寸。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 六、电容式传感器的输出特性 式（6-4）、（6-7）、（6-9）、（6-13）给出单组式传感器的基本设计公式。差动式电容可以根据两个独立的、在一定位移范围内的单组电容C1和C2来计算。对于经常采用的、改变极距型的