非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板.pdfVIP

第31卷第 1期 压 电 与 声 光 Vo1．31N0．1 2009年 2月 PIEZOELECTECTRICS ACOUST00PTICS Feh．2009 文章编 号 ：1004—2474(2009)01-0004—02 非晶态 Te02／36。X LiTaO3SAW 基板 商晓莉，公 勋，熊 军，章 德 (南京大学 电子科学与工程系 ，近代声学教育部重点实验室 ，江苏 南京 210093) 摘 要 ：研究了非晶态 Te0。／36。y_XLiTaO。层状结构的延迟温度系数 (TCD)，并计算 了该结构 中声表面波 (sAw)的其他重要特性，如声波模式和机 电耦合系数 ( )。非晶态 TeO。薄膜作为一种新型具有负温度系数 的材 料 ，当将其沉积于具有正温度系数 的36。 xLiTaO 上时，在膜厚仅为传统 SiO 薄膜的 1／3情况下就可实现零延 迟温度系数 。另外，该结构 中被利用 的 1阶 Love波模式很纯，没有和其他模式 明显的耦合 ，而且其 k 高达 8． 61 。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW 应用材料 。 关键词 ：延迟温度系数 (TCD)；非 晶态 TeO 薄膜 ；36。y_xLiTaO。Love波 ；层状结构 ；声表面波 (SAw) 中图分类号 ：042 文献标识码 ：A AmorphousTeO2／36 X LiTaO3SubstratesforSAW Application SHANG Xiao-Ii，GONG Xtin，XIoNGJun，ZHANG De (KeyLab．ofModernAcousticsofM inistryofEducation，Dept．ofElectronicsScienceandEngineering， NanjingUniversity，Nanjing210093。China) Abstract：Thetemperaturecoefficientofdelay(TCD)oftheamorphousTeO2／36。y_X LiTaO3layeredstruc— turehadbeeninvestigated．Otherpropertiessuchasthemodeofacousticwaveandtheelectromechanicalcoupling coefficient(点 )hadalsobeencalculated．Itwasfoundthattheamorphous—TeO，film withnegativeTCD wasdeposi— tedon36。rotatedy-X LiTaO whichhadapositiveTCD．A zeroTCD couldbeyieldedwhileitsfilm thicknesswas only1／3oftheconventionalSiO2film．Furthermore，the1stLovewavemodeusedinthestructurewasverypure anditsk ofaround8．61 wasveryhigh，withnoobviouscouplingwithothermodes．Thestructurewasanew pro— spectivematerialforSAW application． Keywords：temperaturecoefficientofdelay(TCD)；amorphousTeOzfilm ；36。Y-XLiTaO3Lovewave；layered structure；SAW 延迟温度系数 (TCD)是声表面波 (SAw)器件 旋转 y_X LiNbO。结构 中的声波传播特性进行探 的一个重要参数。但大多常见的铌酸锂、钽酸锂等 讨 发现，该结构的机 电耦合系数 (志)高达 5．5 ， 压电材料都具有较大的正延