第一章微机电系统的组成和应用 微机电系统技术基础课件.ppt

微机电系统技术基础 微电子中心 微机电系统技术基础 哈尔滨工业大学（威海）微电子中心 2010 需要具备的知识和经验 1.有充足的大学数学、物理和化学知识。 2.具备基本的电路和电子工程、材料科学、工程力学和机械设计知识。 3.熟悉MachCAD和Matlab等数学软件。 Mathcad的主要运算功能有：代数运算、线性代数、微积分、符号运算、2D和3D图表、动画、函数、程序编写、逻辑运算、变量与单位的定义和计算等。 MATLAB是矩阵实验室（Matrix Laboratory）之意。除具备卓越的数值计算能力外，它还提供了专业水平的符号计算，文字处理，可视化建模仿真和实时控制等功能。 微机电系统相关概念 微机电系统技术分类 微系统和微电子 微工程中的科学问题 微机电系统的现状与未来 参考资料 第一章微机电系统的组成和应用 1.1 引言 概念与定义 微机械（micro machine)、微系统(microsystems)或微机械电子系统（微机电系统）(micro electro mechanical system)(MEMS)是大意相同的三个名词。 microsystems technology (MST)。 NEMS—NEMS，微光机电系统（MOEMS）。 微机电系统的组成和应用 1.1引言 微机电系统与IC 微电子与微系统之间的差异 相对微电子，微系统包括很多不同的材料，利用LIGA工艺制作的微系统中，聚合物和金属材料是很常用的。 相对微电子，微系统设计要面向大量的各种各样的功能，微电子仅限于电子功能设计。 很多微系统包括可动部分。 微机电系统的组成和应用 1.2 微机电系统的特征 尺寸微小是微机电系统的基本特征。 当尺寸小到微米到亚微米量级时，会产生微尺寸效应。 （1）微尺寸效应，导致微机电系统的惯性小、热容量低，容易获得高灵敏度和快响应。 （2）微尺寸效应，导致微机电系统的前端装置如微传感器的输出信号十分微小，所以必需创造新的测量设备。 微机电系统的组成和应用 1.2微机电系统的特征 微尺寸效应对于元器件间的作用力有很大影响。 随着元器件尺寸的减小，元器件材料内部缺陷出现的可能性减小，因而元器件材料的机械强度会增加。 微机电系统尺寸的缩小，集成化程度的提高，会导致工序增多，成本增高，所以应在试制前对整个微机电系统的器件、工艺及性能进行模拟分析，对各种参数进行优化，以保证微系统的设计合理、正确，降低研制成本，缩短研制周期。 微机电系统的组成和应用 1.2 微机电系统的特征 微尺寸效应对于元器件间的作用力有很大影响 （1）惯性力、体积力及电磁力等的作用将减小，而粘性力、表面力、静电力及摩擦等的作用明显增强。 （2）由于表面积与体积之比相对增加，使热传导的速度也相对增加。 微机电系统的组成和应用 1.3 微机电系统的材料和制造技术 传统的机电系统，用得最多的是金属材料，采用传统的机械制造工艺制作而成；而微机电系统最常用的则是硅及其化合物材料。 （1）硅是容易获得的超纯无杂质的低成本材料，有极好的机械特性和电学特性，非常适合制造微结构 （2）便于利用集成电路（IC）工艺和微机械加工工艺进行批量生产 （3）硅微结构便于和微电子线路实现集成化 微机电系统的组成和应用 1.3 微机电系统的材料和制造技术 集成电路制造技术，包括版图设计、刻蚀工艺、薄膜工艺以及模拟技术等已发展得较为成熟，能成功地用于微电子器件和集成电路的制作，但它不能完全满足微机电系统及其器件的制造。 体型加工技术、表面加工技术、构件间的相互组装技术、键合及一些封装技术等。 微机电系统的组成和应用 1.4 微机电系统的测量技术 由于微尺寸效应，所以微机电系统的输出量十分微弱，为了把如此微弱的有用信号从强噪声背景下提取出来，从设计上考虑，必须遵循几个原则： （1）设计合理的集成检测电路布局。 （2）检测电路必须与微机械装置尽量靠近。 （3）尽量减短微系统的尺寸链 。 上述目的都是为了尽量避免寄生信号的产生和干扰。 微机电系统的组成和应用 1.4 微机电系统的测量技术 由于微机电系统器件的制造，涉及到纳米量级的加工精度，所以测量要用到特殊的测量工具：扫描隧道显微镜（STM)和原子力显微镜（AFM）。 微机电系统的组成和应用 1.5 微机电系统的应用 微机电系统优先应用的主要领域包括航空航天、生物医学、微流量控制、微探头和显微技术、信息科学、微光学技术、微机器人及环境监测等。 微机电系统的组成和应用 1.5.1 MEMS在航天方面的应用 微机电系统在飞行器的电子设备、飞行器设计及微小卫星等技术方面都有重要的应用。 （1）集成微陀螺、微加速度计及其信号处理单元，构成微型惯性导航系统 （2）机敏