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微机电系统技术 第二章微机电系统功能材料 压电材料 磁致伸缩材料 形状记忆材料 电流变液与磁流变液 膨胀合金 金刚石材料 纳米相材料 微机电系统功能材料 2.4磁致伸缩材料 某些铁磁性合金，包括晶态和非晶态，在外磁场作用下，其体内自发磁化形成的各个磁畴的磁化方向均转向外磁场的方向，并成规则排列而磁化。与此同时，体内结构产生应变，伸缩一般很小，?l/l很小。 正磁致伸缩效应：由磁产生应变。 负磁致伸缩效应：在应力作应下，磁感应强度发生改变。 磁致伸缩材料有多种，经常选用的是纯镍和含68%镍的铁镍合金。 微机电系统功能材料 微机电系统功能材料 形状记忆合金的缺点： 2.9 纳米相材料 纳米材料是指晶粒尺寸为纳米级的超细材料。它的微粒尺寸大于原子簇，小于通常的微粒，一般为100~102nm。它包括体积分数近似相等的两个部分： 一是直径为几个或几十个纳米的粒子； 二是粒子间的界面。前者具有长程序的晶状结构， 后者是既没有长程序也没有短程序的无序结构。 总结 半导体材料 压电材料 磁致伸缩材料 形状记忆材料 电流变液与磁流变液 膨胀合金 金刚石材料 纳米相材料 纳米相材料跟普通的金属、陶瓷，和其他固体材料都是由同样的原子组成，只不过这些原子排列成了纳米级的原子团，成为组成这些新材料的结构粒子或结构单元。其常规纳米材料中的基本颗粒直径不到100nm，包含的原子不到几万个。一个直径为3nm的原子团包含大约900个原子。 纳米材料的特性： 1 纳米材料的表面效应； 2 纳米材料的小尺寸效应； 3 纳米材料的量子尺寸效应； 俯视图（161） 侧视图 阵列碳纳米管（ACNT）膜的SEM照片 1 纳米材料的表面效应　　纳米材料的表面效应是指纳米粒子的表面原子数与总原子数之比随粒径的变小而急剧增大后所引起的性质上的变化。如下图所示： 从图中可以看出，粒径在10nm以下，将迅速增加表面原子的比例。当粒径降到1nm时，表面原子数比例达到约90%以上，原子几乎全部集中到纳米粒子的表面。由于纳米粒子表面原子数增多，表面原子配位数不足和高的表面能，使这些原子易与其它原子相结合而稳定下来，故具有很高的化学活性。 纳米相材料 表面效应的主要影响： 1、表面化学反应活性 2、催化活性 3、纳米材料的稳定性 4、铁磁质的居里温度降低 5、熔点降低 6、烧结温度降低 7、晶化温度降低 8、纳米材料的超塑性和超延展性 9、介电材料的高介电常数 10、吸收光谱的红移现象 阵列碳纳米管（ACNT）膜 表现出超双疏性质 2 小尺寸效应 　 随着颗粒尺寸的量变，在一定的条件下会引起颗粒性质的质变。由于颗粒尺寸变小所引起的宏观物理性质的变化称为小尺寸效应。纳米颗粒尺寸小，表面积大，在熔点，磁性，热阻，电学性能，光学性能，化学活性和催化性等都较大尺度颗粒发生了变化，产生一系列奇特的性质。例如，金属纳米颗粒对光的吸收效果显著增加，并产生吸收峰的等离子共振频率偏移；出现磁有序态向磁无序，超导相向正常相的转变。 纳米相材料在电子输运过程中的小尺寸效应： 纳米相材料存在大量的晶界，使得电子散射非常强。晶界原子排列越混乱，晶界厚度越大，对电子散射能力就越强。界面这种高能垒导致纳米相材料的电阻升高。 一般对电子的散射可以分为颗粒散射贡献和界面散射贡献两个部分。当颗粒尺寸与电子的平均自由程相当时，界面对电子的散射有明显的作用。而当颗粒尺寸大于电子平均自由程时，晶内散射贡献逐渐占优势。当颗粒尺寸小于电子平均自由程时，界面散射起主导作用，这时电阻与温度的关系以及电阻温度系数的变化都明显地偏离粗晶情况，甚至出现反常现象。 小尺寸效应的主要影响： 1、金属纳米材料的电阻与临界尺寸 2、宽频带强吸收性质 3、激子增强吸收现象 4、磁有序态向磁无序态的转变 5、超导相向正常相的转变 6、磁性纳米颗粒的高矫顽力 3 量子尺寸效应： 各种元素原子具有特定的光谱线。由无数的原子构成固体时，单独原子的能级就并合成能带，由于电子数目很多，能带中能级的间距很小，因此可以看作是连续的，从能带理论出发成功地解释了大块金属、半导体、绝缘体之间的联系与区别，对介于原子、分子与大块固体之间的超微颗粒而言，大块材料中连续的能带将分裂为分立的能级；能级间的间距随颗粒尺寸减小而增大。 * * 镝铽 2.5形状记忆合金 ※ 形状记忆合金SMA(Shape Memory Alloy)是一种有记忆功能 的金属材料，它在较低温度下，它会改变形状，当温度升高到原来的温度时，它又会恢复原来的形状。 ※ 形状记忆