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主 題 建構兆位元時代的光電科技 探 討 ─光電卓越計劃簡介 祁甡 在二十一世紀，資訊社會將邁入兆位元時代。光電科技在兆位元資訊的傳輸、處理、及儲存上 均將扮演關鍵性角色。本計畫之主旨是在交通大學現有的基礎上，強化研究教學環境，以期在建構 兆位元時代的光電科技研究及人才培訓上做出重要貢獻，並協助建立我國相關產業的核心技術，奠 定我國跨世紀資訊社會的科技基礎。 本計畫包括四個分項計畫：(一) 、先進雷射及光電基礎研究：主旨在發展先進雷射光源，研究 光、電與物質之交互作用，以探討與兆位元光電科技有關的物理前緣課題及關鍵性技術。(二) 、尖 端光電材料與元件：著重在研究及發展特殊有潛力的光電材料和元件，以順應兆位元超高速通訊、 大量資訊處理及高儲存之需求。(三) 、寬頻光纖通訊與分布式光纖感測技術：以技術導向的方式來 發展尖端光纖通訊及感測系統在設計與製作上所需之關鍵計術﹐內容涵蓋了目前光纖通訊及光纖感 測技術中從元件、模組、到系統層次的重要研究領域。(四) 、光儲存科技：進行前瞻新型的讀寫機 制、記錄媒體研究，由面積及體積密度提昇併進，以達成十億位元（Gbit/sec）讀取速度、 2 100Gbit/in的記錄面密度、及奠定兆位元的儲存容量基礎為目標。各分項計畫第一年具體成果如 下： (一) 、先進雷射及光電基礎研究： 本年度已建立光子工廠之雛型，完成雷射脈寬短於35 fs，脈衝重複率1 kHz，脈衝能量2. 5 mJ之實驗平台。加上波長延伸裝置，系統輸出波長範圍可涵蓋350 nm至12μm。在具時間和空 間解析之雷射診斷分析技術上，我們建立頻譜解析光閘（FROG）實驗裝置，完成以Labview程式為 基礎的疊代式相位復原演算法，來分析FROG影像，以便更精準的擷取超快光脈衝的振幅與相位資 訊。並利用飛秒雷射激發之共焦顯微光譜術觀測到HPVPE技術長成之GaN樣品中的二倍頻與三光子 激發螢光，證明中心波長在398nm的尖峰是雷射二倍頻訊號，而中心波長在367nm的尖峰則為三光 子激發螢光訊號。 (二) 、尖端光電材料與元件： 本年度計劃中我們主要是建立研究所需之基礎建設。完成建立高密度電漿鍍膜(PECVD)和蝕刻 系統(ICPAES/RIE) ；准分子雷射及雷射輔助MBE系統；顯微光電特性量測系統；近場/AFM/共焦顯 微系統及螢光和拉曼光譜系統；和X光繞射儀等。研究方面，完成在GaN薄膜內摻雜As之後對光學 性質之影響，開發高電洞濃度p-GaN之生長和p-型歐姆接觸之技術，等電性As摻雜GaN之光電特 性研究。在量子結構研究方面，研究共振腔結構相關之雷射非線性動力學，用超短雷射脈衝激發p 型摻雜GaAs/AlGa As量子井，成功地以AFM氧化Si和Si3N4達成pattern transfer之奈米結 0.32 0.68 構製作技術，此技術可應用於高密度儲存和製作光子晶體上。研究GaAs/AlxGal-xAs量子井結構之 10 -2 動態行為時，發現在LO聲子密度約10 cm時主要為載子-載子散射機制。 17 2001 年 10 月 交大光電所成立20 週年 (三) 、寬頻光纖通訊與分布式光纖感測技術： 主 在非線性光纖通訊系統中，除了進行系統