EDXRF training X能谱仪的培训资料.ppt

EDXRF Training 褚衍卫 目录 一、X射线基础理论 二、仪器的结构与分析条件的选择 三、定量分析方法和基体效应校正 一、X射线基础理论 1.1 什么是X射线 1.2 X射线和特征荧光辐射的产生 1.3 X射线与物质的相互作用 1.1 什么是X射线 X射线可以看作是具有一定波长的电磁波，或者是具有一定能量的光子束。 波长0.01 ~ 10nm；能量：124 keV - 0.124 keV 1.2 X射线和特征荧光辐射的产生 连续谱或韧致辐射：高速电子在阳极原子核场中运动受阻，能量迅速损失而产生宽带连续X射线谱。 特征辐射-原子能级间的电子跃迁与光发射 特征辐射-各线系光谱线间的相对强度关系 K 系谱线的相对强度为：  K?1 ：K?2 ：K? ：K?1：K?2 100 ：50 ：150 ：15 ：5L 系谱线的相对强度为：  L?1 ：L?2 ：L?1 ：L?2 ：L?3 ：L?4 ：L?1 ：L? ：L?  100 ：10 ：70 ：30 ： 10 ： 5 ：10 ：3 ： 1M 系谱线的相对强度为:  M?1 ： M?2 ： M?1 ： M?1  100 ： 10 ： 50 ： 5 这里必须说明：K? 线的波长为： ? K? = (2 ? K?? + ? K?2 ) / 3 。 1.3 X射线与物质的相互作用 吸收-荧光产额(光子数目/空穴数目) 二、仪器的结构与分析条件的选择 2.1 原理及基本构造 2.2 X射线管 2.3 滤光片 2.4 探测器和多道分析仪 2.5 自旋器/氦气系统 2.1 原理及基本构造 原理： X射线光管发射的原级X射线入射至样品，激发样品中各元素的特征谱线; 探测器记录特定波长的X射线光子N; 根据特定波长X射线光子N的强度，计算出与该波长对应的元素的浓度。 基本构造 2.2 X射线管 电流、电压、靶材的选择依据 重元素选择大电压、小电流 轻元素选择小电压、大电流 2.3 滤光片 作用: 降低干扰谱线和背景的强度从而提高信噪比。 2.4 探测器和多道分析仪 机理：电子进入探测器时，探测器产生一个电脉冲，这个脉冲的高度和入射光子能量成正比。将脉冲放大，由多道分析仪接收。 多道分析仪 多道分析仪作用是记录在每个高度间隔内产生了多少个脉冲。 2.5 自旋器/氦气系统 自旋器：样品不会总是完全均匀的，表面的擦痕也会影响测定，安装自旋器使样品在测定时旋转，以消除样品不均匀和表面状态的影响。 氦气系统：空气会吸收射线，尤其是低能量的射线，所以轻元素很难测定，因此在氦气系统检测。He会吸收F以前的元素的谱线，但不会影响重元素谱线的测定。 三、定量分析方法和基体效应校正 3.1 定量分析－绘制标准曲线 3.2 样品制备及基体效应 3.3 基体效应校正的数学方法 3.1 定量分析－绘制标准曲线 根据元素的浓度和已测的该元素的特征谱线的强度按一定关系进行拟合； 和其它仪器分析方法不同的是，在XRF分析中X射线强度很少直接正比于分析元素的浓度； 仪器测量条件的选择 X射线的激发条件 根据分析元素选择电压、电流 滤光片 找到合适的峰位和背景位置 计数器 测量时间的选择 测量时间的选择 计数误差The Counting Statistical Error (CSE) 3.2 样品制备及基体效应 粉末样品制备 压片 特点：简单、快速、节省 存在颗粒效应、矿物效应 熔融制样 制样精密度好 均匀性好 可以人工配制标样 消除了颗粒效应、矿物效应 缺点：制样麻烦、成本高、影响检出限 压片制样与熔融制样的比较 基体效应-颗粒效应 颗粒效应的影响 基体效应-元素间的吸收增强效应 X射线须穿过原子层进入原子内部，在此过程中一部分被原子吸收。产生的特征射线也必须穿过原子层射出样品，同样它也会被吸收一部分。 基体效应-元素间的吸收增强效应 样品产生的特征射线也在X射线范围。这些射线还可以激发样品中的其他元素的电子，再次产生荧光X射线，这种射线被称为二次荧光。 在光谱仪上，一次和二次荧光是区分不开的，三次以上的荧光均可忽略。 克服或校正基体效应的方法 基体匹配法 使用与未知样基体组成相似的标准样品，常常在较窄的浓度范围内或低浓度时与浓度成线性（或二次曲线） 薄试样法 当试样的厚度仅为几百或几千埃时，其基体效应可以忽略。 内标法 在试样内加入已知量的内标元素，该内标元素的X射线荧光特性应与分析元素相似； 3.3 基体效应校正的数学方法 ?? 经验影响系数法 ?? 理论影响