第二章电阻式传感器 模拟电子 传感器技术 教学课件.pptVIP

第二章 电阻式传感器 基本原理 电阻式传感器图解 §1 应变式传感器 一、工作原理 二、类型与结构 三、金属应变片的主要特性 1.何为金属的电阻应变效应？怎样利用这种效应制成丝绕式金属应变片？ 2.什么是应变片的灵敏系数？它与电阻丝的灵敏系数有何不同？为什么？ §2 压阻式传感器 一、工作原理 一、工作原理 二、类型与特点 扩散性压阻式传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。 应变式传感器与压阻式传感器的比较： §3 转换电路 电桥的非线性误差 如何克服直流单臂电桥的非线性问题？ 1.采用差动电桥 差动电桥 2.采用恒流源电桥 三、交流电桥 四、温度误差及其补偿 §4 应用 一、应用特点 二、应用范围 二、应用举例 二、应用举例 4.一应变片的电阻 ， ，用作应变为 的传感元件。a)求 和 ； b)若电源电压 ，求初始平衡时惠斯登电桥的输出电压 。  n=1时 金属应变片 可以忽略，半导体应变片 不可忽略 Uo R3 R4 -△R R2 C B D A +△R R1 U 设 电桥电压灵敏度比单臂时提高了一倍，且具有温度补偿作用。 四臂电桥 电压灵敏度为U，为单臂情况下的四倍（二臂情况下为单臂时的二倍）。 产生非线性的原因之一是在工作过程中，由于电阻变化使通过桥臂的电流不恒定， 若用恒流源供电，非线性误差比恒压源可减小一半。 半导体应变电桥一般采用恒流源供电 交流电桥：电源由直流换成交流 差 别： 复阻抗Z 电压参数有幅值、相位、频率 平衡条件： Z1 Z4 = Z2 Z3 Z1 Z4 = Z2 Z3 Ф1+ Ф4 = Ф2 +Ф3 对于电阻而言，交流电桥与直流电桥的平衡条件是一样的。仅存在寄生电容问题，在频率不高的情况下可以忽略。 R C 寄生电容一般是指电感，电阻，芯片引脚等在高频情况下表现出来的电容特性。实际上，一个电阻等效于一个电容，一个电感，和一个电阻的串连，在低频情况下表现不是很明显，而在高频情况下，等效值会增大，不能忽略。不管是电阻，电容，电感，还是二极管，三极管，MOS管，在高频的情况下我们都要考虑到它们的等效电容值，电感值。 用应变片测量时，由于环境温度变化而引起电阻变化，由此而产生的测量误差，称为应变片的温度误差。 原因： 敏感栅电阻随温度的变化引起的误差 试件材料的线膨胀引起的误差 1）当环境温度变化时 ，敏感栅电阻温度系数为 ，则引起的电阻相对变化为 2）试件的线膨胀误差为 由于温度变化形成的总的电阻相对变化为 自补偿法－ 选择合适的敏感栅材料，消除温 度或减小温度影响。 温度补偿的方法： 自补偿法， 线路补偿法 （1）单丝自补偿法 使温度变化形成的总的电阻相对变化为零 对于给定的试件 ，可以适当的选取栅丝的温度系数 及膨胀系数 ，使 (2) 双丝自补偿应变计 一种方法是通过调整两种敏感栅的长度，控制 和 的比例，使温度变化时产生的电阻变化满足 应变片的敏感栅丝由两种不同温度系数的金属丝串接组成。 另一种方法是两种串接的电阻丝具有相同符号的温度系数，即都为正或都为负，其结构及电桥连接方式如下图所示。在电阻丝串接处焊接引线。适当调节两种电阻丝的长度比和外接电阻RB值，可满足温度自补偿要求。 线路补偿法－接入消除温度影响的电阻。如差动补偿、热敏电阻、补偿电阻。 (1) 电桥补偿法 工作应变片R1安装在被测试件上，另选一个特性与R1相同的补偿片R2安装在材料与试件相同的某补偿件上，温度与试件相同，但不承受应变。 利用电桥，可以巧妙安装应变片而不需要补偿件并兼得灵敏度提高一倍 Uo R3 R4 -△R R2 C B D A +△R R1 U 图 差动电桥补偿法 3 证明差动电桥线路能实现温度补偿。差动应变片接法如图1。 Uo R3 R4 -△R R2 C B D A +△R R1 U 图 差动电桥补偿法 (2) 热敏电阻补偿法 热敏电阻Rt与应变片处于相同温度下，当应变片灵敏度随温度升高而下降时，热敏电阻的阻值下降，使电桥的输入电压随温度升高而增加，从而提高电桥的输出电压。 1、应变片成本非常低，精度高，但存在横向效应。 2、压阻式灵敏系数大、分辨率高、频率响应高、体积小、适于半导体工艺、机械滞后小、横向效应小、但易受温度影响、机械强度差。 1、测应变； 2、测应力； 3、测力，如拉力、压力、压强、扭矩； 4、测加速度、位移等。 如何应用应变式传感器进行测量？