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超精密加工概論微製造工程導論
微製造工程導論 ◎奈米材料種類 ◎奈米材料應用 ◎奈米材料生成 ◎奈米材料物性 奈米材料Nanomaterials 奈米尺度 碳六十 C60 Buckyball 1985年 美Smalley 英Kroto 以雷射施加於石墨上使其蒸發沉積 20個六邊形 12個五邊形 奈米碳管 Carbon Nanotube 1991日本NEC 飯島澄男Iijima 碳電弧放電法 單層多層 導熱導電 強度高 韌性佳 量子點 Quantum dot 50nm~100nm 零維奈米材料、奈米電子元件 穿隧效應tunneling effect 光學蝕刻、電子束蝕刻、 分子束磊晶molecular beam epitaxy MBE 量子井、量子線、量子點 光子晶體 Photonic crystal 光子晶體 Photonic Crystal 光導 waveguide 光鉗optical twisters 朱隸文 原子力顯微鏡探針Si3N4 奈米晶體Nanocrystal 奈米晶體Nanocrystal 奈米材料特性 電學、光學、化學、力學性質 ◎表面效應 ◎小尺寸效應 ◎量子尺寸效應 ◎宏觀量子隧道效應 高強度、高延展性、高硬度、低熔點、高催化性 表面原子 Surface Atom 表面原子 與粒子大小 熱學性質 Specific heat 機械性質 Mechanical Property 奈米碳管良 好之彎曲性 掃描穿隧式顯微鏡 Scanning tunneling microscopy 單原子操縱技術 1993年IBM 將101個鐵原子在排列在銅(111)面上 原子分子自我組成 奈米粒子合成Nanoparticle Synthesis 奈米材料生成技術 熱燈絲化學氣相沉積儀HFCVD Hot filament chemical vapor deposition 微波化學氣相沉積儀MPCVD Microwave plasma chemical vapor deposition 熱蒸鍍儀Thermal evaporation 分子束磊晶儀MBE Molecular beam epitaxy 脈衝式雷射蒸鍍儀PLD Pulse laser deposition 濺鍍儀sputtering deposition 單電子晶體管 * 的奈米晶粒組成 組成之薄膜 103~105 個原子 101~102個原子 由尺寸1~100nm 由原子團簇或奈米微粒 1~100nm 1nm 奈米固體 奈米薄膜 奈米微粒 原子團簇 電子運動之自由度 自聚性量子點之製作 磊晶技術 人造點陣列 400nm~700nm 能隙 photonic bandgap 奈米碳管探針 熱學性質 熔點 Melting temp. 奈米碳管Young’s modulus 與鑽石相當 移動 displacement 提取extraction 放置deposition 1990年IBM 將35個氙原子排列在鎳(110)面上 蒸氣凝結法 *
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