离子束增强沉积界面共混工艺对Cr-N镀层结合强度的影响.pdfVIP

第l§嚣第4期 无机树辩学撩 Vol15，No《 2000霉8月 Journalof Materials Inorganic 文章绱峰：i000—324x(2000)04—0740-07 摩 宾1，李咏撼1，稿奈赛2 旺，太嚣理篇太学表面篡程辑究辩。太艨030024；2。西袭交通走学念建特糟强度画 家重点实骏室，婚害710049) 摘 葵：采赠涟续压凡法以受球滚接触疲劳法评怒年嘲界面共混=E芑所群国-N镀滕媵耩结合 疆度，并对离释方法泼验绪策溢行努稀嚣诧。试验绪弟表瓒，臻嚣它参致褶瓣籀捧下，箍替蒸离 韵恋共浸界掰囊剪更理恕盼骥袋一基体绩台强震。薄种方法测试鳍累具有一致矬。当膜避基 体结合力较高时，压入汝评定膦层一基体精台强度熨简便、适硝． 装键遘；离子熏增强沉积jCtN；骥屡一基体糖合擞嶷 串密势娄号；O484 文献摭说玛：A 1§i富 投影射程l站，使膜鹱一蒸俸共漏区宽分展蹙，掇菇膜罄一麓舔结合强庹(篱称膜基结合强 recoil 度{．文献阳】磷宠遥表龌鬻糍燕子动态复砖共溱(dynamic recoil Beam 台比静态度冲典混(static Enhanced 使滕基界筒形成戚分偏桥。阂诧，在er—N镀瑶制替避程中，鸯必葵在渡餐工艺参数懿藏圈 蠢f10—50 压A法及接触疲劳法16】的试验结果进行分析对比。一方面究替界面翩瞽工苗，弱一方筒比 较缀合强崖试验方法酌逶瓣往。 2试验方法 2．1试样黼备 较壤蠡鞘：19§§娟8橱0；鼗劐赣玻藕囊期；1999-10～挺 蕊窳 寐宿熟科学彗垒磺日 件鬻 宾(198}k舞，撼士，翻教授． 4期 唐 宾，等：离子束增强沉积界蕊共湿工艺对Cr-N镀翳结合强度的影响 741 溅射清洗，界面混合以及离子束辅助轰击．考虑连续压入法所需测试医域小，为使膜搽结 合强度静溅量结浆具毒毒毙性，试拦统一搜露接触疲劳试撵。试撵基豺为按挺准工艺热处 滚委lOmln。各静舞蟊裁蚤工艺参数螽表1衢示． 袭1膜基界面制备工艺 Table1 Interm]xlngpararaeters atoms：l ×10-2Pa；局q=4keY；N ions／Or 2．2燕蒜缝舍强凌谗定方法 分剐用连续磁入法，球滚接触疲劳法评定不同界丽共混工苗所制镀层的膜基结合强度， 泼， 连续压入法使用TCYA型镀层睚入仪，其主要技术指标：压头：金刚石园锥鹰头，园壤角 范围：一500一+500#m，最小分度o．1弘m；撩载、卸载速帛范匿：9．2xloo一2 光学显微系统放大倍率：40x，100x，400x． 球滚接触疲势测试在毁进的JP一52型 接触疲势试验机上进行+试验过程中，试样 围定，轴承滚珠(GCrl5)在试样表面作纯滚 samp；c 动，妇鹭1嚣示，滚囊辘瘩袋用有13令滚 75ram， 珠的8103型推力辅承，钢球直径4 Ra=0 05#m．接触部分浸在润滑油中，转速 为2800n+min～+当瓣落蚕秘达到5嚣时，谈 为界面失散，定义5×106循环周次后失效 时对应的膜基界薅处最大剪应力幅A‘：为 罄1球淡接齄疲势方法示意爨 膜基界面疲劳强爱；作为动态结合强度的 1 Sketchof