微机械谐振子单端口电容检测方法研究 Research on One-port Capacitive Detecting Method for Micro-mechanical Resonator.pdfVIP

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2018-01-30 发布于上海
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微机械谐振子单端口电容检测方法研究 Research on One-port Capacitive Detecting Method for Micro-mechanical Resonator.pdf

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微机械谐振子单端口电容检测方法研究 Research on One-port Capacitive Detecting Method for Micro-mechanical Resonator

·　　　20 ·　　理论与实践 2013年第33卷第6期 doi: 10．11823/ ．issn．1674 -5795．2013．06．03 微机械谐振子单端口电容检测方法研究 1 1 1 2 1,3 邢维巍 , 谷姗姗 , 王炜明 ,章建军 , 樊尚春 (1．北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京100191;2．北京航空工程技术研究中心,北京100076; 3．惯性技术国防科技重点实验室,北京100191) 摘　要: 针对微机械谐振子电容信号难以检测的问题, 本文采用基于频域分离的单端口静电激励/ 电容检测方案, 并配合以隔离变压器应用技术。这种检测方式时域连续, 除此, 单端口检测既简化了谐振器结构, 又避免了双端口检测中激励信号与检测信号存在耦合干扰的问题。实验结果表明: 所设计的方案可以有效观测到梁的谐振现象并解算出谐振子的振动信息, 为下一步实现单端口谐振子的闭环奠定了基础。关键词: 微机械谐振子;单端口静电激励/ 电容检测;频域分离;隔离变压器中图分类号: TB971;TP212．1　　　文献标识码: A 文章编号: 1674 -5795 (2013) 06-0020-06 Research on One-port Capacitive Detecting Method for Micro-mechanical Resonator 1 1 1 2 1 ,3 XING Weiwei , GU Shanshan , WANG Weiming , ZHANGJianjun , FAN Shangchun (1． School of Instrumentation Science Optoelectronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,China; 2． Beijing Aeronautical Technology Research Center,Beijing 100076,China; 3． Science and Technology on Inertial Laboratory,Beijing 100191,China) Abstract:For micro-mechanical resonator capacitance signal isdifficulttodetect,thispaper adoptsone-port electrostaticexcitationandca- pacitive detection method based on thefrequency separation,coupling with the isolation transformer application technology． The measurement is time-continuous and only requires a very simple resonant structurewhere a single electrode is simultaneously usedfor excitation and detection． This method solves the problem of electrical cross-talk in two-port resonator under same-frequency excitation． On the basis of building the platform of excitation/ detectionsystem,theexperimentswerecarriedou