用于大激光工程污染控制的有效洁净度.pdfVIP

第26卷第11期 强 激 光 与 粒 子 束 v。1．26，No．11 2014年1 HIGH 1月 POWERLASERANDPARTICLE BEAMS Nov．，2014 一= ==———=========———=——=====———=====——=======—==一 用于大激光工程污染控制的有效洁净度+ 4， 刘 勇h 程晓锋2， 徐剑秋3， 穆全全1， 王海萍1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春130033； 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900； 3．上海交通大学物理系，激光等离子体教育部重点实验室，上海200240；4．中国科学院大学，北京100039) 摘 要：从分子运动的角度，通过对不同分子沉降过程的量化计算，发现不同污染物沉降速率的差异，由 此提出了一种包含污染物化学成分的有效洁净度的概念。有效洁净度从描述物质沉降过程的输运方程出发， 通过计算不同理化性质的污染物分子沉降速率对不同污染物进行区分，并将该信息与原标准下的洁净度信息 结合。使用美国国家标准与技术学会(NIST)数据库提供的数据代人有效洁净度理论。计算了几种主要污染物 的有效洁净度数值，计算结果与法国LIL激光装置中有代表性的污染物的沉降速率及曝光后形成污染的程度 进行了对比，与实验观测基本吻合。 关键词： 大激光工程；激光损伤阈值； 有效洁净度； 污染物化学成分 中图分类号： TN248 文献标志码： A doi：lO．11884／HPLPB201426．111010 大激光装置因其自身性能特点，是惯性约束聚变等多个重要领域的关键器件[1’3]。大激光装置出光通量为 10 J／cm2量级。在该光通量下，即使_um量级的污染物落在镜片表面，也会在镜片上产生极大的局部热量梯 度，致使镜片表面炸裂口3，影响系统出光质量。因此在大激光装置中要对污染物严格控制，保证环境与装置腔 内洁净度。 大激光装置中的污染物控制水平通常用洁净度来描述，针对不同的污染物类型以及不同系统，洁净度标准 的洁净度使用了MIL．ST口1246标准。现行所有标准中对洁净度的定义仅针对污染物的尺寸和粒子数密度 进行定标，并未考虑不同污染物成分与激光器相互作用不同带来的影响，与实际情况存在一定偏差[1]。单纯按 现行标准控制污染已经不能有针对性地保证大激光装置的可靠性和安全性。针对此问题，国内外仍未有明确 的理论成果，仅有少数实验对部分污染物成分对激光损伤阈值的影响进行了测量[2’4。10]。本文从分子运动角度 出发，用热学传递函数描述不同污染物沉降过程，通过对比不同污染物沉降速率，针对该问题提出了一种可行 的解决方向。 l 理论模型 1．1污染物分类 污染物按尺寸大小可分为两类：微粒级污染物和分子级污染物。微粒级污染物直径较大，可通过常规的空 气过滤系统清洗。分子级污染物直径通常在_f上m至nm量级，目前通过惰性气流反向冲洗技术来控制。若分 子污染物未附着在器件表面，则称为悬浮分子污染物(AMCs)。酸性和碱性悬浮分子很容易相互融合而形成 凝结核‘2|，其挥发性差，极易沉降在元件表面上造成损伤。在法国LIL激光器中，含量较高的凝结核污染物主 要有甲苯、苯、对二甲苯、柠檬烯、壬醛、苯甲酸口]，均属有机污染物。为了描述凝结核污染，选取了污染物沉降 速率作为表征不同污染物的参数。 1．2污染物沉降速率的理论计算 分子运动学中，物质沉降速率方程为[4] 掣一出锄 (1) df 量；叮是物质的沉降截面，它是物质的吸收截面口。与沉降量子效率尘的乘积。对于任何污染物，我们都可以计