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2009年lO月 金刚石与磨料磨具T程 Oct.2009
第5期总第173期Diamond&AbrasivesEngineering No.5Serial.173
文章编号:1006—852X(2009)05一O007—06
射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类
金刚石碳膜工艺与性能表征’
陈冲2 曹 宁1’2 张益博‘ 王风2 吕 震2 李木森1·2
费振义1’2亓永新1,2
(1.山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,济南250061)
(2.山东省超硬材料工程技术研究中心,邹城273500)
积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着
透光率进行了检测和对比。结果表明:DLC薄膜的表面光滑、平整,表面粗糙度随沉积时间的增加单调
递增;耐磨性及附着性优良;与C。Hm相比使用C:H:作为碳源气体可以得到较高sp3含量和较低spl含量
的透光性越好。
关键词射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积;类金刚石薄膜;放电特性
文献标识码A
中图分类号TQl64;TB43
and characterizationofdiamond
performances
Preparationtechnique
carbonfilmsRFGDPECVDmethod
-like by
Chen Fei Qi Cao 1,2
Chon92Zhenyil2Yongxinl,2Ning
Yib01 LvZhen2LiMusenl·2
Zhang WangFen92
and Materials
Laboratoryof伽删StructureHeredityof
(1.Key
Education),ShandongUniversity,五耽n250061,China)
(Ministryof
Centre
ResearchforSuperhardMaterials,Zoucheng273500,China)
(2.ShandongEngineering
AbstractThediamond—like were onthe substratesradio
carbon(DLC)filmssuccessfullydepositedglass by
chemical method:
glow enhanced vapor
frequencydischargeplasma
adhesionof DLCfilmsweretestedmeansofatomicforce
Thesurface resistanceand the by
morphology,wear
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