传感器与检测技术章压电.ppt

传感器与检测技术章压电

下图是压电式单向测力传感器的结构图,它主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。  传感器上盖为传力元件,它的外缘壁厚为0.1~0.5mm,当外力作用时,它将产生弹性变形,将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型,利用其纵向压电效应,通过d11实现力—电转换。石英晶片的尺寸为φ8×1 mm。该传感器的测力范围为0~50 N,最小分辨率为0.01,固有频率为50~60 kHz,整个传感器重10g。 (1)压电式单向测力传感器 压电式压力传感器 (2)压电式压力传感器 消除振动加速度影响的压电式压力传感器的结构 下图是一种压电式加速度传感器的结构图。它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。整个部件装在外壳内,并用螺栓加以固定。  当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时,压电元件受质量块惯性力的作用,根据牛顿第二定律,此惯性力是加速度的函数,即 F=m·a 式中:F——质量块产生的惯性力; m——质量块的质量; a——加速度。 (3)压电式加速度传感器 此时惯性力F作用于压电元件上,因而产生电荷q,当传感器选定后,m为常数,则传感器输出电荷为: q=d11

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