改的配方.docVIP

、唐山海泰新能科技有限公司 多晶铸锭技术研发 技术领域： 本发明涉及太阳能光伏多晶铸锭工艺。 背景技术： 目前多太阳能光伏多晶铸锭应用GT-450设备制备多晶硅锭425KG左右，工艺运行消耗58小时左右。该工艺运行时间长，单台设备产能低，电能消耗高，单炉次生产硅锭重量低。 本技术已达成研发一种新的工艺程序，减少GT-450设备制备多晶硅锭工艺运行时间，增加单炉次硅锭重量量。该工艺在生产单个硅锭产能上由原来的425KG提高到480KG，单炉生产产量提高13%；在工艺运行时间上由原来的58小时减少到52小时，年产能提高17%。 为了解决以上问题，本设计做出如下改进配方（附表2） 图表解释： 附表1：为GT-450性设备生产4250KG硅锭运行工艺，整个工艺运行完成用时58-60小时 生产模式 工序 小时：分钟 加热模式 功率设定 温度设定 压力模式 气流控制 进气设定 压力设定 出气设定 隔热板位置 晶体生长速度 晶体高度 加热 1 0:10 功率 10% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 加热 2 0:30 功率 30% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 加热 3 1:30 功率 50% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 加热 4 4:00 功率 55% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 熔化 1 2:30 温控 0 1175 真空 进气 0 0 0 0 0 0 熔化 2 0:10 温控 0 1180 压力 进气 0 200 40% 0 0 0 熔化 3 0:08 温控 0 1187 压力 进气 0 350 43% 0 0 0 熔化 4 0:08 温控 0 1195 压力 进气 0 500 43% 0 0 0 熔化 5 0:10 温控 0 1200 压力 进气 0 600 43% 0 0 0 熔化 6 3:00 温控 0 1510 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 7 2:00 温控 0 1560 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 8 2:00 温控 0 1560 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 9 6:00 温控 0 1560 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 10 0:05 温控 0 1560 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 11 0:45 温控 0 1432 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 熔化 12 1:00 温控 0 1432 压力 出气 55% 600 0 0 0 0 长晶 1 0:30 温控 0 1432 压力 出气 40% 600 0 10 0 0 长晶 2 2:30 温控 0 1432 压力 出气 40% 600 0 12 1.2 3 长晶 3 6:00 温控 0 1432 压力 出气 40% 600 0 14 1.7 13.2 长晶 4 1:00 温控 0 1430 压力 出气 40% 600 0 15 1.3 14.5 长晶 5 5:00 温控 0 1425 压力 出气 40% 600 0 16 1.2 20.5 长晶 6 8:00 温控 0 1421 压力 出气 40% 600 0 16 0.8 26.9 长晶 7 4:00 温控 0 1416 压力 出气 40% 600 0 16 0 26.9 退火 1 0:20 温控 0 1370 压力 出气 20% 600 0 0 0 26.9 退火 2 2:00 温控 0 1370 压力 出气 20% 600 0 0 0 26.9 退火 3 2:00 功率 20% 400 压力 出气 20% 600 0 0 0 26.9 冷却 1 4:00 功率 0 0 压力 出气 0% 600 47 8 0 26.9 冷却 2 3:00 功率 0 0 压力 出气 0% 600 47 12 0 26.9 冷却 3 2:00 功率 0 0 压力 出气 0% 700 47 28 0 26.9 冷却 4 6:00 功率 0 0 压力 出气 0% 700 47 28 0 26.9 冷却 5 0:20 功率 0 0 压力 出气 0% 850 47 38 0 26.9 附表2：为GT-450设备生产480KG硅锭运行工艺，该工艺整个工艺运行完成需要用时52小时左右。 生产模式 工序 小时：分钟 加热模式 功率设定 温度设定 压力模式 气流控制 进气设定 压力设定 出气设定 隔热板位置 晶体生长速度 晶体高度 加热 1 0:10 功率 10% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 加热 2 0:30 功率 30% 0 真空 进气 0 0 0 0 0 0 加热 3 1